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Cibles de pulvérisation

Les cibles de pulvérisation sont des matériaux spécialisés utilisés pour le dépôt de couches minces dans diverses industries, notamment l’électronique, l’énergie et le textile. Ces cibles peuvent être composées de différents éléments ou alliages, tels que des métaux purs ou des céramiques, et sont bombardées par des ions, ce qui provoque l’éjection d’atomes ou de molécules de leur surface. Ces particules se déposent ensuite sur un substrat pour former un film mince et uniforme. Il existe différents types de cibles de projection, notamment des cibles planes ou rotatives, ainsi qu’une gamme de matériaux tels que l’or, l’argent, le titane et le tungstène. Leur sélection dépend de différents facteurs, notamment les exigences de l’application, les propriétés des matériaux et la compatibilité avec le système de projection.
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1

Cible à sputtering de gadolinium, 50,8 mm de diamètre x 3,18 mm d’épaisseur

CAS: 7440-54-2 Formule moléculaire: Gd Poids moléculaire (g/mol): 157.25 Numéro MDL: MFCD00011022 Clé InChI: UIWYJDYFSGRHKR-UHFFFAOYSA-N Synonyme: atom,gadolinio,unii-au0v1lm3jt,trihydride,au0v1lm3jt,foil, 3n,gadolinium, elemental,ingot,gadolinium, chips,compounds PubChem CID: 23982 ChEBI: CHEBI:33375 Nom de l’IUPAC: Gadolinium SOURIRES: [Gd]

Poids moléculaire (g/mol) 157.25
PubChem CID 23982
Synonyme atom,gadolinio,unii-au0v1lm3jt,trihydride,au0v1lm3jt,foil, 3n,gadolinium, elemental,ingot,gadolinium, chips,compounds
Numéro MDL MFCD00011022
Nom de l’IUPAC Gadolinium
CAS 7440-54-2
ChEBI CHEBI:33375
Clé InChI UIWYJDYFSGRHKR-UHFFFAOYSA-N
SOURIRES [Gd]
Formule moléculaire Gd
2

Cible sputtering en cérium, 76,2 mm de diamètre x 3,18 mm d’épaisseur

CAS: 7440-45-1 Formule moléculaire: Ce Poids moléculaire (g/mol): 140.12 Numéro MDL: MFCD00010924 Clé InChI: GWXLDORMOJMVQZ-UHFFFAOYSA-N Synonyme: cerio,ingot,cerium, chips,foil, 3n,zer,ceramics-aeium,acmc-1bl5r,chips, 3n reo,powder,-200 mesh,cerium PubChem CID: 23974 ChEBI: CHEBI:33369 Nom de l’IUPAC: Cerium SOURIRES: [Ce]

Poids moléculaire (g/mol) 140.12
PubChem CID 23974
Synonyme cerio,ingot,cerium, chips,foil, 3n,zer,ceramics-aeium,acmc-1bl5r,chips, 3n reo,powder,-200 mesh,cerium
Numéro MDL MFCD00010924
Nom de l’IUPAC Cerium
CAS 7440-45-1
ChEBI CHEBI:33369
Clé InChI GWXLDORMOJMVQZ-UHFFFAOYSA-N
SOURIRES [Ce]
Formule moléculaire Ce
3

Cible à sputtering d’étain, diamètre de 76,2 mm (3,0 po) x 3,18 mm (0,125 po) d’épaisseur, 99,995% (base métallique)

CAS: 7440-31-5 Formule moléculaire: Sn Poids moléculaire (g/mol): 118.71 Numéro MDL: MFCD00133862 Clé InChI: ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N Synonyme: powder,stannum,metallic,tin, elemental,wang,zinn,flake,tin, metal,silver matt powder,zinn german PubChem CID: 5352426 ChEBI: CHEBI:32990 Nom de l’IUPAC: Tin SOURIRES: [Sn]

Poids moléculaire (g/mol) 118.71
PubChem CID 5352426
Synonyme powder,stannum,metallic,tin, elemental,wang,zinn,flake,tin, metal,silver matt powder,zinn german
Numéro MDL MFCD00133862
Nom de l’IUPAC Tin
CAS 7440-31-5
ChEBI CHEBI:32990
Clé InChI ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N
SOURIRES [Sn]
Formule moléculaire Sn
4

Cible à sputtering en nitrure de titane, 50,8 mm (2,0 po) de diamètre x 3,18 mm (0,125 po) d’épaisseur, 99,5% (base métallique)

CAS: 25583-20-4 Formule moléculaire: NTi Poids moléculaire (g/mol): 61.87 Numéro MDL: MFCD00049596 Clé InChI: NRTOMJZYCJJWKI-UHFFFAOYSA-N Synonyme: titanium nitride,titanium nitride tin,nitridotitanium,unii-6rw464feff,titannitrid,titaniumylidyneamine,titanium mononitride,titanium nitride, <3 mum,6rw464feff,titanium nitride tin grade a PubChem CID: 93091 Nom de l’IUPAC: azanylidynetitanium SOURIRES: N#[Ti]

Poids moléculaire (g/mol) 61.87
PubChem CID 93091
Synonyme titanium nitride,titanium nitride tin,nitridotitanium,unii-6rw464feff,titannitrid,titaniumylidyneamine,titanium mononitride,titanium nitride, <3 mum,6rw464feff,titanium nitride tin grade a
Numéro MDL MFCD00049596
Nom de l’IUPAC azanylidynetitanium
CAS 25583-20-4
Clé InChI NRTOMJZYCJJWKI-UHFFFAOYSA-N
SOURIRES N#[Ti]
Formule moléculaire NTi
5

Cible à pulvérisation d’oxyde de zinc, 50,8 mm (2,0 po) de diamètre x 3,18 mm (0,125 po) d’épaisseur, 99,9% (base métallique)

CAS: 1314-13-2 Formule moléculaire: OZn Poids moléculaire (g/mol): 81.38 Numéro MDL: MFCD00011300 Clé InChI: XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N Synonyme: zinc oxide,zinc white,amalox,permanent white,Chinese white,snow white,emanay zinc oxide,felling zinc oxide,zinc oxide zno,akro-zinc bar 85 PubChem CID: 14806 ChEBI: CHEBI:36560 Nom de l’IUPAC: oxozinc SOURIRES: O=[Zn]

Poids moléculaire (g/mol) 81.38
PubChem CID 14806
Synonyme zinc oxide,zinc white,amalox,permanent white,Chinese white,snow white,emanay zinc oxide,felling zinc oxide,zinc oxide zno,akro-zinc bar 85
Numéro MDL MFCD00011300
Nom de l’IUPAC oxozinc
CAS 1314-13-2
ChEBI CHEBI:36560
Clé InChI XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N
SOURIRES O=[Zn]
Formule moléculaire OZn
6

Cible à pulvérisation en tungstène, 50,8 mm (2,0 po) de diamètre x 6,35 mm (0,250 po) d’épaisseur, 99,95% (base métallique)

CAS: 7440-33-7 Formule moléculaire: W Poids moléculaire (g/mol): 183.84 Numéro MDL: MFCD00011461 Clé InChI: WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N Synonyme: wolfram,ion,va,tungsten, elemental,wolframium,unii-v9306cxo6g,4+ ion,tungsten, soluble compounds,tungsten, insoluble compounds,powder PubChem CID: 23964 ChEBI: CHEBI:27998 Nom de l’IUPAC: Tungstène SOURIRES: [W]

Poids moléculaire (g/mol) 183.84
PubChem CID 23964
Synonyme wolfram,ion,va,tungsten, elemental,wolframium,unii-v9306cxo6g,4+ ion,tungsten, soluble compounds,tungsten, insoluble compounds,powder
Numéro MDL MFCD00011461
Nom de l’IUPAC Tungstène
CAS 7440-33-7
ChEBI CHEBI:27998
Clé InChI WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N
SOURIRES [W]
Formule moléculaire W
7

Cible à sputtering en zinc, diamètre 50,8 mm (2,0 po) x 3,18 mm (0,125 po) d’épaisseur, 99,99% (base métallique)

CAS: 7440-66-6 Formule moléculaire: Zn Poids moléculaire (g/mol): 65.38 Numéro MDL: MFCD00011291 Clé InChI: HCHKCACWOHOZIP-UHFFFAOYSA-N Synonyme: dust,cinc,powder,merrillite,rheinzink,jasad,blue powder,granular,zinc, elemental,emanay dust PubChem CID: 23994 ChEBI: CHEBI:30185 Nom de l’IUPAC: Zinc SOURIRES: [Zn]

Poids moléculaire (g/mol) 65.38
PubChem CID 23994
Synonyme dust,cinc,powder,merrillite,rheinzink,jasad,blue powder,granular,zinc, elemental,emanay dust
Numéro MDL MFCD00011291
Nom de l’IUPAC Zinc
CAS 7440-66-6
ChEBI CHEBI:30185
Clé InChI HCHKCACWOHOZIP-UHFFFAOYSA-N
SOURIRES [Zn]
Formule moléculaire Zn
8

Cible à sputtering de zinc, diamètre 50,8 mm (2,0 po) x 6,35 mm (0,250 po) d’épaisseur, 99,99% (base métallique)

CAS: 7440-66-6 Formule moléculaire: Zn Poids moléculaire (g/mol): 65.38 Numéro MDL: MFCD00011291 Clé InChI: HCHKCACWOHOZIP-UHFFFAOYSA-N Synonyme: dust,cinc,powder,merrillite,rheinzink,jasad,blue powder,granular,zinc, elemental,emanay dust PubChem CID: 23994 ChEBI: CHEBI:30185 Nom de l’IUPAC: Zinc SOURIRES: [Zn]

Poids moléculaire (g/mol) 65.38
PubChem CID 23994
Synonyme dust,cinc,powder,merrillite,rheinzink,jasad,blue powder,granular,zinc, elemental,emanay dust
Numéro MDL MFCD00011291
Nom de l’IUPAC Zinc
CAS 7440-66-6
ChEBI CHEBI:30185
Clé InChI HCHKCACWOHOZIP-UHFFFAOYSA-N
SOURIRES [Zn]
Formule moléculaire Zn
9

Cible à sputtering en titane, 50,8 mm (2,0 po) de diamètre x 3,18 mm (0,125 po) d’épaisseur, 99,7% (base métallique)

CAS: 7440-32-6 Formule moléculaire: Ti Poids moléculaire (g/mol): 47.87 Numéro MDL: MFCD00011264,MFCD00151301 Clé InChI: RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Synonyme: oremet,alloy,cp,vt1,c.p.,contimet 30,jistp28,titanium-125,ii hydride,titan vt 1-1 PubChem CID: 23963 ChEBI: CHEBI:33341 Nom de l’IUPAC: Titane SOURIRES: [Ti]

Poids moléculaire (g/mol) 47.87
PubChem CID 23963
Synonyme oremet,alloy,cp,vt1,c.p.,contimet 30,jistp28,titanium-125,ii hydride,titan vt 1-1
Numéro MDL MFCD00011264,MFCD00151301
Nom de l’IUPAC Titane
CAS 7440-32-6
ChEBI CHEBI:33341
Clé InChI RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N
SOURIRES [Ti]
Formule moléculaire Ti
10

Cible à sputtering en titane, 50,8 mm (2,0 po) de diamètre x 6,35 mm (0,250 po) d’épaisseur, 99,7% (base métallique)

CAS: 7440-32-6 Formule moléculaire: Ti Poids moléculaire (g/mol): 47.87 Numéro MDL: MFCD00011264,MFCD00151301 Clé InChI: RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Synonyme: oremet,alloy,cp,vt1,c.p.,contimet 30,jistp28,titanium-125,ii hydride,titan vt 1-1 PubChem CID: 23963 ChEBI: CHEBI:33341 Nom de l’IUPAC: Titane SOURIRES: [Ti]

Poids moléculaire (g/mol) 47.87
PubChem CID 23963
Synonyme oremet,alloy,cp,vt1,c.p.,contimet 30,jistp28,titanium-125,ii hydride,titan vt 1-1
Numéro MDL MFCD00011264,MFCD00151301
Nom de l’IUPAC Titane
CAS 7440-32-6
ChEBI CHEBI:33341
Clé InChI RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N
SOURIRES [Ti]
Formule moléculaire Ti
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Cible de pulvérisation d’oxyde de silicium(II), diamètre 50,8 mm (2,0 po) x 6,35 mm (0,250 po) d’épaisseur, 99,9% (base métallique)

CAS: 10097-28-6 Formule moléculaire: OSi Poids moléculaire (g/mol): 44.084 Numéro MDL: MFCD00151536 Clé InChI: LIVNPJMFVYWSIS-UHFFFAOYSA-N Synonyme: silicon monoxide,silylene, oxo,silicon ii oxide,unii-1oqn9cbg7l,1oqn9cbg7l,silicon ii oxide, optical grade,sio,oxidosilicon,oxosilanylidene,oxosilylene PubChem CID: 66241 ChEBI: CHEBI:30588 Nom de l’IUPAC: Oxoniumylidynésilanide SOURIRES: [O+]#[Si-]

Poids moléculaire (g/mol) 44.084
PubChem CID 66241
Synonyme silicon monoxide,silylene, oxo,silicon ii oxide,unii-1oqn9cbg7l,1oqn9cbg7l,silicon ii oxide, optical grade,sio,oxidosilicon,oxosilanylidene,oxosilylene
Numéro MDL MFCD00151536
Nom de l’IUPAC Oxoniumylidynésilanide
CAS 10097-28-6
ChEBI CHEBI:30588
Clé InChI LIVNPJMFVYWSIS-UHFFFAOYSA-N
SOURIRES [O+]#[Si-]
Formule moléculaire OSi
12

Cible à sputtering en nitrure de titane, 50,8 mm (2,0 po) de diamètre x 6,35 mm (0,250 po) d’épaisseur, 99,5% (base métallique)

CAS: 25583-20-4 Formule moléculaire: NTi Poids moléculaire (g/mol): 61.87 Numéro MDL: MFCD00049596 Clé InChI: NRTOMJZYCJJWKI-UHFFFAOYSA-N Synonyme: titanium nitride,titanium nitride tin,nitridotitanium,unii-6rw464feff,titannitrid,titaniumylidyneamine,titanium mononitride,titanium nitride, <3 mum,6rw464feff,titanium nitride tin grade a PubChem CID: 93091 Nom de l’IUPAC: azanylidynetitanium SOURIRES: N#[Ti]

Poids moléculaire (g/mol) 61.87
PubChem CID 93091
Synonyme titanium nitride,titanium nitride tin,nitridotitanium,unii-6rw464feff,titannitrid,titaniumylidyneamine,titanium mononitride,titanium nitride, <3 mum,6rw464feff,titanium nitride tin grade a
Numéro MDL MFCD00049596
Nom de l’IUPAC azanylidynetitanium
CAS 25583-20-4
Clé InChI NRTOMJZYCJJWKI-UHFFFAOYSA-N
SOURIRES N#[Ti]
Formule moléculaire NTi
13

Cible à sputtering de zinc, diamètre de 76,2 mm (3,0 po) x 3,18 mm (0,125 po) d’épaisseur, 99,99% (base métallique)

CAS: 7440-66-6 Formule moléculaire: Zn Poids moléculaire (g/mol): 65.38 Numéro MDL: MFCD00011291 Clé InChI: HCHKCACWOHOZIP-UHFFFAOYSA-N Synonyme: dust,cinc,powder,merrillite,rheinzink,jasad,blue powder,granular,zinc, elemental,emanay dust PubChem CID: 23994 ChEBI: CHEBI:30185 Nom de l’IUPAC: Zinc SOURIRES: [Zn]

Poids moléculaire (g/mol) 65.38
PubChem CID 23994
Synonyme dust,cinc,powder,merrillite,rheinzink,jasad,blue powder,granular,zinc, elemental,emanay dust
Numéro MDL MFCD00011291
Nom de l’IUPAC Zinc
CAS 7440-66-6
ChEBI CHEBI:30185
Clé InChI HCHKCACWOHOZIP-UHFFFAOYSA-N
SOURIRES [Zn]
Formule moléculaire Zn
14

Cible à pulvérisation au cobalt, diamètre 50,8 mm (2,0 po) x 6,35 mm (0,250 po) d’épaisseur, 99,95% (base métallique)

CAS: 7440-48-4 Formule moléculaire: Co Poids moléculaire (g/mol): 58.93 Numéro MDL: MFCD00010935 Clé InChI: GUTLYIVDDKVIGB-UHFFFAOYSA-N Synonyme: kobalt,cobalto,moncation,co1+,cobaltum,powder,cobalt, ion co1+,hydrido,atom,hydride PubChem CID: 104730 ChEBI: CHEBI:27638 Nom de l’IUPAC: cobalt SOURIRES: [Co]

Poids moléculaire (g/mol) 58.93
PubChem CID 104730
Synonyme kobalt,cobalto,moncation,co1+,cobaltum,powder,cobalt, ion co1+,hydrido,atom,hydride
Numéro MDL MFCD00010935
Nom de l’IUPAC cobalt
CAS 7440-48-4
ChEBI CHEBI:27638
Clé InChI GUTLYIVDDKVIGB-UHFFFAOYSA-N
SOURIRES [Co]
Formule moléculaire Co
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Cible à sputtering en magnésium, 50,8 mm (2,0 po) de diamètre x 6,35 mm (0,250 po) d’épaisseur, 99,95% (base métallique), Thermo Scientific Chemicals

CAS: 7439-95-4 Formule moléculaire: Mg Poids moléculaire (g/mol): 24.30 Numéro MDL: MFCD00085308 Clé InChI: JLVVSXFLKOJNIY-UHFFFAOYSA-N Synonyme: magnesio,sheet,powdered,magnesio italian,turnings,rieke's active,ribbon,unii-i38zp9992a,hsdb 654,nitrate, acs PubChem CID: 5462224 ChEBI: CHEBI:25107 Nom de l’IUPAC: magnésium SOURIRES: [Mg]

Poids moléculaire (g/mol) 24.30
PubChem CID 5462224
Synonyme magnesio,sheet,powdered,magnesio italian,turnings,rieke's active,ribbon,unii-i38zp9992a,hsdb 654,nitrate, acs
Numéro MDL MFCD00085308
Nom de l’IUPAC magnésium
CAS 7439-95-4
ChEBI CHEBI:25107
Clé InChI JLVVSXFLKOJNIY-UHFFFAOYSA-N
SOURIRES [Mg]
Formule moléculaire Mg