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Cibles de pulvérisation

Les cibles de pulvérisation sont des matériaux spécialisés utilisés pour le dépôt de couches minces dans diverses industries, notamment l’électronique, l’énergie et le textile. Ces cibles peuvent être composées de différents éléments ou alliages, tels que des métaux purs ou des céramiques, et sont bombardées par des ions, ce qui provoque l’éjection d’atomes ou de molécules de leur surface. Ces particules se déposent ensuite sur un substrat pour former un film mince et uniforme. Il existe différents types de cibles de projection, notamment des cibles planes ou rotatives, ainsi qu’une gamme de matériaux tels que l’or, l’argent, le titane et le tungstène. Leur sélection dépend de différents facteurs, notamment les exigences de l’application, les propriétés des matériaux et la compatibilité avec le système de projection.
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1

Cible à sputtering en cuivre, diamètre de 76,2 mm (3,0 po) x 3,18 mm (0,125 po) d’épaisseur, 99,999% (base métallique)

CAS: 7440-50-8 Formule moléculaire: Cu Poids moléculaire (g/mol): 63.55 Numéro MDL: MFCD00010965 Clé InChI: RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Synonyme: cuprum,cobre,cuivre,blister,cathode,bronze,powder,anode,precipitates,kupfer PubChem CID: 23978 ChEBI: CHEBI:30052 Nom de l’IUPAC: Cuivre SOURIRES: [Cu]

Poids moléculaire (g/mol) 63.55
PubChem CID 23978
Synonyme cuprum,cobre,cuivre,blister,cathode,bronze,powder,anode,precipitates,kupfer
Numéro MDL MFCD00010965
Nom de l’IUPAC Cuivre
CAS 7440-50-8
ChEBI CHEBI:30052
Clé InChI RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N
SOURIRES [Cu]
Formule moléculaire Cu
2

Cible à sputtering en titane, 50,8 mm (2,0 po) de diamètre x 3,18 mm (0,125 po) d’épaisseur, 99,7% (base métallique)

CAS: 7440-32-6 Formule moléculaire: Ti Poids moléculaire (g/mol): 47.87 Numéro MDL: MFCD00011264,MFCD00151301 Clé InChI: RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Synonyme: oremet,alloy,cp,vt1,c.p.,contimet 30,jistp28,titanium-125,ii hydride,titan vt 1-1 PubChem CID: 23963 ChEBI: CHEBI:33341 Nom de l’IUPAC: Titane SOURIRES: [Ti]

Poids moléculaire (g/mol) 47.87
PubChem CID 23963
Synonyme oremet,alloy,cp,vt1,c.p.,contimet 30,jistp28,titanium-125,ii hydride,titan vt 1-1
Numéro MDL MFCD00011264,MFCD00151301
Nom de l’IUPAC Titane
CAS 7440-32-6
ChEBI CHEBI:33341
Clé InChI RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N
SOURIRES [Ti]
Formule moléculaire Ti
3

Cible à sputtering en zinc, diamètre 50,8 mm (2,0 po) x 3,18 mm (0,125 po) d’épaisseur, 99,99% (base métallique)

CAS: 7440-66-6 Formule moléculaire: Zn Poids moléculaire (g/mol): 65.38 Numéro MDL: MFCD00011291 Clé InChI: HCHKCACWOHOZIP-UHFFFAOYSA-N Synonyme: dust,cinc,powder,merrillite,rheinzink,jasad,blue powder,granular,zinc, elemental,emanay dust PubChem CID: 23994 ChEBI: CHEBI:30185 Nom de l’IUPAC: Zinc SOURIRES: [Zn]

Poids moléculaire (g/mol) 65.38
PubChem CID 23994
Synonyme dust,cinc,powder,merrillite,rheinzink,jasad,blue powder,granular,zinc, elemental,emanay dust
Numéro MDL MFCD00011291
Nom de l’IUPAC Zinc
CAS 7440-66-6
ChEBI CHEBI:30185
Clé InChI HCHKCACWOHOZIP-UHFFFAOYSA-N
SOURIRES [Zn]
Formule moléculaire Zn
4

Cible à sputtering en titane, 50,8 mm (2,0 po) de diamètre x 6,35 mm (0,250 po) d’épaisseur, 99,7% (base métallique)

CAS: 7440-32-6 Formule moléculaire: Ti Poids moléculaire (g/mol): 47.87 Numéro MDL: MFCD00011264,MFCD00151301 Clé InChI: RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Synonyme: oremet,alloy,cp,vt1,c.p.,contimet 30,jistp28,titanium-125,ii hydride,titan vt 1-1 PubChem CID: 23963 ChEBI: CHEBI:33341 Nom de l’IUPAC: Titane SOURIRES: [Ti]

Poids moléculaire (g/mol) 47.87
PubChem CID 23963
Synonyme oremet,alloy,cp,vt1,c.p.,contimet 30,jistp28,titanium-125,ii hydride,titan vt 1-1
Numéro MDL MFCD00011264,MFCD00151301
Nom de l’IUPAC Titane
CAS 7440-32-6
ChEBI CHEBI:33341
Clé InChI RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N
SOURIRES [Ti]
Formule moléculaire Ti
5

Cible à pulvérisation d’oxyde de zinc, 50,8 mm (2,0 po) de diamètre x 3,18 mm (0,125 po) d’épaisseur, 99,9% (base métallique)

CAS: 1314-13-2 Formule moléculaire: OZn Poids moléculaire (g/mol): 81.38 Numéro MDL: MFCD00011300 Clé InChI: XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N Synonyme: zinc oxide,zinc white,amalox,permanent white,Chinese white,snow white,emanay zinc oxide,felling zinc oxide,zinc oxide zno,akro-zinc bar 85 PubChem CID: 14806 ChEBI: CHEBI:36560 Nom de l’IUPAC: oxozinc SOURIRES: O=[Zn]

Poids moléculaire (g/mol) 81.38
PubChem CID 14806
Synonyme zinc oxide,zinc white,amalox,permanent white,Chinese white,snow white,emanay zinc oxide,felling zinc oxide,zinc oxide zno,akro-zinc bar 85
Numéro MDL MFCD00011300
Nom de l’IUPAC oxozinc
CAS 1314-13-2
ChEBI CHEBI:36560
Clé InChI XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N
SOURIRES O=[Zn]
Formule moléculaire OZn
6

Cible à pulvérisation au cobalt, diamètre 50,8 mm (2,0 po) x 6,35 mm (0,250 po) d’épaisseur, 99,95% (base métallique)

CAS: 7440-48-4 Formule moléculaire: Co Poids moléculaire (g/mol): 58.93 Numéro MDL: MFCD00010935 Clé InChI: GUTLYIVDDKVIGB-UHFFFAOYSA-N Synonyme: kobalt,cobalto,moncation,co1+,cobaltum,powder,cobalt, ion co1+,hydrido,atom,hydride PubChem CID: 104730 ChEBI: CHEBI:27638 Nom de l’IUPAC: cobalt SOURIRES: [Co]

Poids moléculaire (g/mol) 58.93
PubChem CID 104730
Synonyme kobalt,cobalto,moncation,co1+,cobaltum,powder,cobalt, ion co1+,hydrido,atom,hydride
Numéro MDL MFCD00010935
Nom de l’IUPAC cobalt
CAS 7440-48-4
ChEBI CHEBI:27638
Clé InChI GUTLYIVDDKVIGB-UHFFFAOYSA-N
SOURIRES [Co]
Formule moléculaire Co
7

Cible à sputtering en cuivre, diamètre de 50,8 mm (2,0 po) x 3,18 mm (0,125 po) d’épaisseur, 99,995% (base métallique)

CAS: 7440-50-8 Formule moléculaire: Cu Poids moléculaire (g/mol): 63.55 Numéro MDL: MFCD00010965 Clé InChI: RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Synonyme: cuprum,cobre,cuivre,blister,cathode,bronze,powder,anode,precipitates,kupfer PubChem CID: 23978 ChEBI: CHEBI:30052 Nom de l’IUPAC: Cuivre SOURIRES: [Cu]

Poids moléculaire (g/mol) 63.55
PubChem CID 23978
Synonyme cuprum,cobre,cuivre,blister,cathode,bronze,powder,anode,precipitates,kupfer
Numéro MDL MFCD00010965
Nom de l’IUPAC Cuivre
CAS 7440-50-8
ChEBI CHEBI:30052
Clé InChI RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N
SOURIRES [Cu]
Formule moléculaire Cu
8

Cible en titane sputtering, diamètre de 76,2 mm (3,0 po) x 6,35 mm (0,250 po) d’épaisseur, 99,995% (base métallique)

CAS: 7440-32-6 Formule moléculaire: Ti Poids moléculaire (g/mol): 47.87 Numéro MDL: MFCD00011264,MFCD00151301 Clé InChI: RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Synonyme: oremet,alloy,cp,vt1,c.p.,contimet 30,jistp28,titanium-125,ii hydride,titan vt 1-1 PubChem CID: 23963 ChEBI: CHEBI:33341 Nom de l’IUPAC: Titane SOURIRES: [Ti]

Poids moléculaire (g/mol) 47.87
PubChem CID 23963
Synonyme oremet,alloy,cp,vt1,c.p.,contimet 30,jistp28,titanium-125,ii hydride,titan vt 1-1
Numéro MDL MFCD00011264,MFCD00151301
Nom de l’IUPAC Titane
CAS 7440-32-6
ChEBI CHEBI:33341
Clé InChI RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N
SOURIRES [Ti]
Formule moléculaire Ti
9

Cible à sputtering d’ytterbium, 50,8 mm de diamètre x 1,59 mm d’épaisseur

CAS: 7440-64-4 Formule moléculaire: Yb Poids moléculaire (g/mol): 173.05 Numéro MDL: MFCD00011286 Clé InChI: NAWDYIZEMPQZHO-UHFFFAOYSA-N Synonyme: unii-mnq4o4wsi1,hydride,mnq4o4wsi1,foil, 3n,yterbio,ingot,powder,ii ion,chips, 3n,ingot, 3n PubChem CID: 23992 ChEBI: CHEBI:33381 Nom de l’IUPAC: yterbium SOURIRES: [Yb]

Poids moléculaire (g/mol) 173.05
PubChem CID 23992
Synonyme unii-mnq4o4wsi1,hydride,mnq4o4wsi1,foil, 3n,yterbio,ingot,powder,ii ion,chips, 3n,ingot, 3n
Numéro MDL MFCD00011286
Nom de l’IUPAC yterbium
CAS 7440-64-4
ChEBI CHEBI:33381
Clé InChI NAWDYIZEMPQZHO-UHFFFAOYSA-N
SOURIRES [Yb]
Formule moléculaire Yb
10

Cible à sputtering en molybdène, diamètre de 76,2 mm (3,0 po) x 3,18 mm (0,125 po) d’épaisseur, 99,95% (base métallique)

CAS: 7439-98-7 Formule moléculaire: Mo Poids moléculaire (g/mol): 95.95 Numéro MDL: MFCD00003465 Clé InChI: ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N Synonyme: molybdenum, elemental,6+ ion,mchvl,vi ion,molybdenum, metallic,metco 63,atom,molybdenum, ion 6+,tsm1,amperit 106.2 PubChem CID: 23932 ChEBI: CHEBI:28685 Nom de l’IUPAC: Molybdène SOURIRES: [Mo]

Poids moléculaire (g/mol) 95.95
PubChem CID 23932
Synonyme molybdenum, elemental,6+ ion,mchvl,vi ion,molybdenum, metallic,metco 63,atom,molybdenum, ion 6+,tsm1,amperit 106.2
Numéro MDL MFCD00003465
Nom de l’IUPAC Molybdène
CAS 7439-98-7
ChEBI CHEBI:28685
Clé InChI ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N
SOURIRES [Mo]
Formule moléculaire Mo
11

Cible à pulvérisation en tungstène, diamètre de 50,8 mm (2,0 po) x 3,18 mm (0,125 po) d’épaisseur, 99,95% (base métallique)

CAS: 7440-33-7 Formule moléculaire: W Poids moléculaire (g/mol): 183.84 Numéro MDL: MFCD00011461 Clé InChI: WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N Synonyme: wolfram,ion,va,tungsten, elemental,wolframium,unii-v9306cxo6g,4+ ion,tungsten, soluble compounds,tungsten, insoluble compounds,powder PubChem CID: 23964 ChEBI: CHEBI:27998 Nom de l’IUPAC: Tungstène SOURIRES: [W]

Poids moléculaire (g/mol) 183.84
PubChem CID 23964
Synonyme wolfram,ion,va,tungsten, elemental,wolframium,unii-v9306cxo6g,4+ ion,tungsten, soluble compounds,tungsten, insoluble compounds,powder
Numéro MDL MFCD00011461
Nom de l’IUPAC Tungstène
CAS 7440-33-7
ChEBI CHEBI:27998
Clé InChI WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N
SOURIRES [W]
Formule moléculaire W
12

Cible à sputtering de chrome, 76,2 mm (3,0 po) de diamètre x 6,35 mm (0,250 po) d’épaisseur, 99,95% (base métallique)

CAS: 7440-47-3 Formule moléculaire: Cr Poids moléculaire (g/mol): 52.00 Numéro MDL: MFCD00010944 Clé InChI: VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N Synonyme: chrom,chrome,cromo,metal,chrome french,compounds,chrom german,chromium, elemental,chromium, metal,ccris 159 PubChem CID: 23976 ChEBI: CHEBI:28073 Nom de l’IUPAC: Chrome SOURIRES: [Cr]

Poids moléculaire (g/mol) 52.00
PubChem CID 23976
Synonyme chrom,chrome,cromo,metal,chrome french,compounds,chrom german,chromium, elemental,chromium, metal,ccris 159
Numéro MDL MFCD00010944
Nom de l’IUPAC Chrome
CAS 7440-47-3
ChEBI CHEBI:28073
Clé InChI VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N
SOURIRES [Cr]
Formule moléculaire Cr
13

Cible à pulvérisation au cobalt, diamètre 50,8 mm (2,0 po) x 3,18 mm (0,125 po) d’épaisseur, 99,95% (base métallique)

CAS: 7440-48-4 Formule moléculaire: Co Poids moléculaire (g/mol): 58.93 Numéro MDL: MFCD00010935 Clé InChI: GUTLYIVDDKVIGB-UHFFFAOYSA-N Synonyme: kobalt,cobalto,moncation,co1+,cobaltum,powder,cobalt, ion co1+,hydrido,atom,hydride PubChem CID: 104730 ChEBI: CHEBI:27638 Nom de l’IUPAC: cobalt SOURIRES: [Co]

Poids moléculaire (g/mol) 58.93
PubChem CID 104730
Synonyme kobalt,cobalto,moncation,co1+,cobaltum,powder,cobalt, ion co1+,hydrido,atom,hydride
Numéro MDL MFCD00010935
Nom de l’IUPAC cobalt
CAS 7440-48-4
ChEBI CHEBI:27638
Clé InChI GUTLYIVDDKVIGB-UHFFFAOYSA-N
SOURIRES [Co]
Formule moléculaire Co
14

Objectif à pulvérisation en niobium, 50,8 mm (2,0 po) de diamètre x 6,35 mm (0,250 po) d’épaisseur, 99,95% (base métallique excluant le Ta)

CAS: 3-1-7440 Formule moléculaire: Nb Poids moléculaire (g/mol): 92.91 Numéro MDL: MFCD00011126 Clé InChI: GUCVJGMIXFAOAE-UHFFFAOYSA-N Synonyme: columbium,element,niobium-93,powder,foil,rod,vn 1,foil, 0.25mm 0.01in thick,columbio,niobio PubChem CID: 23936 ChEBI: CHEBI:33344 Nom de l’IUPAC: Niobium SOURIRES: [Nb]

Poids moléculaire (g/mol) 92.91
PubChem CID 23936
Synonyme columbium,element,niobium-93,powder,foil,rod,vn 1,foil, 0.25mm 0.01in thick,columbio,niobio
Numéro MDL MFCD00011126
Nom de l’IUPAC Niobium
CAS 3-1-7440
ChEBI CHEBI:33344
Clé InChI GUCVJGMIXFAOAE-UHFFFAOYSA-N
SOURIRES [Nb]
Formule moléculaire Nb
15

Cible à sputtering en titane, diamètre de 76,2 mm (3,0 po) x 3,18 mm (0,125 po) d’épaisseur, 99,995% (base métallique)

CAS: 7440-32-6 Formule moléculaire: Ti Poids moléculaire (g/mol): 47.87 Numéro MDL: MFCD00011264,MFCD00151301 Clé InChI: RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Synonyme: oremet,alloy,cp,vt1,c.p.,contimet 30,jistp28,titanium-125,ii hydride,titan vt 1-1 PubChem CID: 23963 ChEBI: CHEBI:33341 Nom de l’IUPAC: Titane SOURIRES: [Ti]

Poids moléculaire (g/mol) 47.87
PubChem CID 23963
Synonyme oremet,alloy,cp,vt1,c.p.,contimet 30,jistp28,titanium-125,ii hydride,titan vt 1-1
Numéro MDL MFCD00011264,MFCD00151301
Nom de l’IUPAC Titane
CAS 7440-32-6
ChEBI CHEBI:33341
Clé InChI RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N
SOURIRES [Ti]
Formule moléculaire Ti