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Sputtering Targets

Sputtering targets are specialized materials employed for thin-film deposition in various industries, including electronics, energy, and textiles. These targets can be composed of different elemental or alloy compositions, such as pure metals or ceramics, and are bombarded by ions, causing atoms or molecules to be ejected from their surface. These particles then deposit on a substrate to create a thin, uniform film. Different types of sputtering targets exist, including planar or rotary targets and a range of materials, such as gold, silver, titanium, and tungsten. Their selection depends on different factors like the application requirements, material properties, and compatibility with the sputtering system.
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1

Molybdenum sputtering target, 50.8mm (2.0in) dia x 3.18mm (0.125in) thick, 99.95% (metals basis)

CAS: 7439-98-7 Formule moléculaire: Mo Poids moléculaire (g/mol): 95.95 Numéro MDL: MFCD00003465 Clé InChI: ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N Synonyme: molybdenum, elemental,6+ ion,mchvl,vi ion,molybdenum, metallic,metco 63,atom,molybdenum, ion 6+,tsm1,amperit 106.2 CID PubChem: 23932 ChEBI: CHEBI:28685 Nom IUPAC: molybdenum SMILES: [Mo]

Poids moléculaire (g/mol) 95.95
Synonyme molybdenum, elemental,6+ ion,mchvl,vi ion,molybdenum, metallic,metco 63,atom,molybdenum, ion 6+,tsm1,amperit 106.2
Numéro MDL MFCD00003465
CAS 7439-98-7
CID PubChem 23932
ChEBI CHEBI:28685
Nom IUPAC molybdenum
Clé InChI ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N
SMILES [Mo]
Formule moléculaire Mo
2

Copper sputtering target, 76.2mm (3.0in) dia x 3.18mm (0.125in) thick, 99.999% (metals basis)

CAS: 7440-50-8 Formule moléculaire: Cu Poids moléculaire (g/mol): 63.55 Numéro MDL: MFCD00010965 Clé InChI: RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Synonyme: cuprum,cobre,cuivre,blister,cathode,bronze,powder,anode,precipitates,kupfer CID PubChem: 23978 ChEBI: CHEBI:30052 Nom IUPAC: copper SMILES: [Cu]

Poids moléculaire (g/mol) 63.55
Synonyme cuprum,cobre,cuivre,blister,cathode,bronze,powder,anode,precipitates,kupfer
Numéro MDL MFCD00010965
CAS 7440-50-8
CID PubChem 23978
ChEBI CHEBI:30052
Nom IUPAC copper
Clé InChI RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N
SMILES [Cu]
Formule moléculaire Cu
3

Titanium sputtering target, 50.8mm (2.0in) dia x 3.18mm (0.125in) thick, 99.995% (metals basis)

CAS: 7440-32-6 Formule moléculaire: Ti Poids moléculaire (g/mol): 47.87 Numéro MDL: MFCD00011264,MFCD00151301 Clé InChI: RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Synonyme: oremet,alloy,cp,vt1,c.p.,contimet 30,jistp28,titanium-125,ii hydride,titan vt 1-1 CID PubChem: 23963 ChEBI: CHEBI:33341 Nom IUPAC: titanium SMILES: [Ti]

Poids moléculaire (g/mol) 47.87
Synonyme oremet,alloy,cp,vt1,c.p.,contimet 30,jistp28,titanium-125,ii hydride,titan vt 1-1
Numéro MDL MFCD00011264,MFCD00151301
CAS 7440-32-6
CID PubChem 23963
ChEBI CHEBI:33341
Nom IUPAC titanium
Clé InChI RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N
SMILES [Ti]
Formule moléculaire Ti
4

Nickel Chromium, sputtering target, 50.8mm (2.0in) dia x 6.35mm (0.250in) thick, 99.95% (metals basis)

CAS: 11106-97-1 Formule moléculaire: CrNi Poids moléculaire (g/mol): 110.69 Numéro MDL: MFCD00673110 Clé InChI: VNNRSPGTAMTISX-UHFFFAOYSA-N Synonyme: nickel chromium,nickel-chromium,nicr,nickel chromium lump,chromium, compd. with nickel 1:1,chromium nickel,acmc-1byoe,nickel chromium powder,-140+325 mesh,nickel chromium wire, 1.0mm 0.04in dia,nickel chromium wire, 0.25mm 0.01in dia CID PubChem: 11320920 Nom IUPAC: chromium nickel SMILES: [Cr].[Ni]

Poids moléculaire (g/mol) 110.69
Synonyme nickel chromium,nickel-chromium,nicr,nickel chromium lump,chromium, compd. with nickel 1:1,chromium nickel,acmc-1byoe,nickel chromium powder,-140+325 mesh,nickel chromium wire, 1.0mm 0.04in dia,nickel chromium wire, 0.25mm 0.01in dia
Numéro MDL MFCD00673110
CAS 11106-97-1
CID PubChem 11320920
Nom IUPAC chromium nickel
Clé InChI VNNRSPGTAMTISX-UHFFFAOYSA-N
SMILES [Cr].[Ni]
Formule moléculaire CrNi
5

Molybdenum sputtering target, 76.2mm (3.0in) dia x 6.35mm (0.250in) thick, 99.95% (metals basis)

CAS: 7439-98-7 Formule moléculaire: Mo Poids moléculaire (g/mol): 95.95 Numéro MDL: MFCD00003465 Clé InChI: ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N Synonyme: molybdenum, elemental,6+ ion,mchvl,vi ion,molybdenum, metallic,metco 63,atom,molybdenum, ion 6+,tsm1,amperit 106.2 CID PubChem: 23932 ChEBI: CHEBI:28685 Nom IUPAC: molybdenum SMILES: [Mo]

Poids moléculaire (g/mol) 95.95
Synonyme molybdenum, elemental,6+ ion,mchvl,vi ion,molybdenum, metallic,metco 63,atom,molybdenum, ion 6+,tsm1,amperit 106.2
Numéro MDL MFCD00003465
CAS 7439-98-7
CID PubChem 23932
ChEBI CHEBI:28685
Nom IUPAC molybdenum
Clé InChI ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N
SMILES [Mo]
Formule moléculaire Mo
6

Zinc oxide sputtering target, 50.8mm (2.0in) dia x 3.18mm (0.125in) thick, 99.9% (metals basis)

CAS: 1314-13-2 Formule moléculaire: OZn Poids moléculaire (g/mol): 81.38 Numéro MDL: MFCD00011300 Clé InChI: XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N Synonyme: zinc oxide,zinc white,amalox,permanent white,Chinese white,snow white,emanay zinc oxide,felling zinc oxide,zinc oxide zno,akro-zinc bar 85 CID PubChem: 14806 ChEBI: CHEBI:36560 Nom IUPAC: oxozinc SMILES: O=[Zn]

Poids moléculaire (g/mol) 81.38
Synonyme zinc oxide,zinc white,amalox,permanent white,Chinese white,snow white,emanay zinc oxide,felling zinc oxide,zinc oxide zno,akro-zinc bar 85
Numéro MDL MFCD00011300
CAS 1314-13-2
CID PubChem 14806
ChEBI CHEBI:36560
Nom IUPAC oxozinc
Clé InChI XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N
SMILES O=[Zn]
Formule moléculaire OZn
7

Tungsten sputtering target, 76.2mm (3.0in) dia x 6.35mm (0.250in) thick, 99.95% (metals basis)

CAS: 7440-33-7 Formule moléculaire: W Poids moléculaire (g/mol): 183.84 Numéro MDL: MFCD00011461 Clé InChI: WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N Synonyme: wolfram,ion,va,tungsten, elemental,wolframium,unii-v9306cxo6g,4+ ion,tungsten, soluble compounds,tungsten, insoluble compounds,powder CID PubChem: 23964 ChEBI: CHEBI:27998 Nom IUPAC: tungsten SMILES: [W]

Poids moléculaire (g/mol) 183.84
Synonyme wolfram,ion,va,tungsten, elemental,wolframium,unii-v9306cxo6g,4+ ion,tungsten, soluble compounds,tungsten, insoluble compounds,powder
Numéro MDL MFCD00011461
CAS 7440-33-7
CID PubChem 23964
ChEBI CHEBI:27998
Nom IUPAC tungsten
Clé InChI WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N
SMILES [W]
Formule moléculaire W
8

Molybdenum sputtering target, 50.8mm (2.0in) dia x 6.35mm (0.250in) thick, 99.95% (metals basis)

CAS: 7439-98-7 Formule moléculaire: Mo Poids moléculaire (g/mol): 95.95 Numéro MDL: MFCD00003465 Clé InChI: ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N Synonyme: molybdenum, elemental,6+ ion,mchvl,vi ion,molybdenum, metallic,metco 63,atom,molybdenum, ion 6+,tsm1,amperit 106.2 CID PubChem: 23932 ChEBI: CHEBI:28685 Nom IUPAC: molybdenum SMILES: [Mo]

Poids moléculaire (g/mol) 95.95
Synonyme molybdenum, elemental,6+ ion,mchvl,vi ion,molybdenum, metallic,metco 63,atom,molybdenum, ion 6+,tsm1,amperit 106.2
Numéro MDL MFCD00003465
CAS 7439-98-7
CID PubChem 23932
ChEBI CHEBI:28685
Nom IUPAC molybdenum
Clé InChI ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N
SMILES [Mo]
Formule moléculaire Mo
9

Nickel sputtering target, 76.2mm (3.0in) dia x 3.18mm (0.125in) thick, 99.99% (metals basis)

CAS: 7440-02-0 Formule moléculaire: Ni Poids moléculaire (g/mol): 58.69 Numéro MDL: MFCD00011137 MFCD06798735 Clé InChI: PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Synonyme: raney alloy,fibrex,catalyst,particles,fibrex p,nickel, elemental,nichel italian,nickel, soluble salts,carbonyl powder,niccolum CID PubChem: 935 ChEBI: CHEBI:28112 Nom IUPAC: nickel SMILES: [Ni]

Poids moléculaire (g/mol) 58.69
Synonyme raney alloy,fibrex,catalyst,particles,fibrex p,nickel, elemental,nichel italian,nickel, soluble salts,carbonyl powder,niccolum
Numéro MDL MFCD00011137 MFCD06798735
CAS 7440-02-0
CID PubChem 935
ChEBI CHEBI:28112
Nom IUPAC nickel
Clé InChI PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N
SMILES [Ni]
Formule moléculaire Ni
10

Chromium sputtering target, 50.8mm (2.0in) dia x 3.18mm (0.125in) thick, 99.95% (metals basis)

CAS: 7440-47-3 Formule moléculaire: Cr Poids moléculaire (g/mol): 52.00 Numéro MDL: MFCD00010944 Clé InChI: VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N Synonyme: chrom,chrome,cromo,metal,chrome french,compounds,chrom german,chromium, elemental,chromium, metal,ccris 159 CID PubChem: 23976 ChEBI: CHEBI:28073 Nom IUPAC: chromium SMILES: [Cr]

Poids moléculaire (g/mol) 52.00
Synonyme chrom,chrome,cromo,metal,chrome french,compounds,chrom german,chromium, elemental,chromium, metal,ccris 159
Numéro MDL MFCD00010944
CAS 7440-47-3
CID PubChem 23976
ChEBI CHEBI:28073
Nom IUPAC chromium
Clé InChI VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N
SMILES [Cr]
Formule moléculaire Cr
11

Silicon(II) oxide sputtering target, 50.8mm (2.0in) dia x 6.35mm (0.250in) thick, 99.9% (metals basis)

CAS: 10097-28-6 Formule moléculaire: OSi Poids moléculaire (g/mol): 44.084 Numéro MDL: MFCD00151536 Clé InChI: LIVNPJMFVYWSIS-UHFFFAOYSA-N Synonyme: silicon monoxide,silylene, oxo,silicon ii oxide,unii-1oqn9cbg7l,1oqn9cbg7l,silicon ii oxide, optical grade,sio,oxidosilicon,oxosilanylidene,oxosilylene CID PubChem: 66241 ChEBI: CHEBI:30588 Nom IUPAC: oxoniumylidynesilanide SMILES: [O+]#[Si-]

Poids moléculaire (g/mol) 44.084
Synonyme silicon monoxide,silylene, oxo,silicon ii oxide,unii-1oqn9cbg7l,1oqn9cbg7l,silicon ii oxide, optical grade,sio,oxidosilicon,oxosilanylidene,oxosilylene
Numéro MDL MFCD00151536
CAS 10097-28-6
CID PubChem 66241
ChEBI CHEBI:30588
Nom IUPAC oxoniumylidynesilanide
Clé InChI LIVNPJMFVYWSIS-UHFFFAOYSA-N
SMILES [O+]#[Si-]
Formule moléculaire OSi
12

Cobalt sputtering target, 50.8mm (2.0in) dia x 3.18mm (0.125in) thick, 99.95% (metals basis)

CAS: 7440-48-4 Formule moléculaire: Co Poids moléculaire (g/mol): 58.93 Numéro MDL: MFCD00010935 Clé InChI: GUTLYIVDDKVIGB-UHFFFAOYSA-N Synonyme: kobalt,cobalto,moncation,co1+,cobaltum,powder,cobalt, ion co1+,hydrido,atom,hydride CID PubChem: 104730 ChEBI: CHEBI:27638 Nom IUPAC: cobalt SMILES: [Co]

Poids moléculaire (g/mol) 58.93
Synonyme kobalt,cobalto,moncation,co1+,cobaltum,powder,cobalt, ion co1+,hydrido,atom,hydride
Numéro MDL MFCD00010935
CAS 7440-48-4
CID PubChem 104730
ChEBI CHEBI:27638
Nom IUPAC cobalt
Clé InChI GUTLYIVDDKVIGB-UHFFFAOYSA-N
SMILES [Co]
Formule moléculaire Co
13

Zinc sputtering target, 50.8mm (2.0in) dia x 3.18mm (0.125in) thick, 99.99% (metals basis)

CAS: 7440-66-6 Formule moléculaire: Zn Poids moléculaire (g/mol): 65.38 Numéro MDL: MFCD00011291 Clé InChI: HCHKCACWOHOZIP-UHFFFAOYSA-N Synonyme: dust,cinc,powder,merrillite,rheinzink,jasad,blue powder,granular,zinc, elemental,emanay dust CID PubChem: 23994 ChEBI: CHEBI:30185 Nom IUPAC: zinc SMILES: [Zn]

Poids moléculaire (g/mol) 65.38
Synonyme dust,cinc,powder,merrillite,rheinzink,jasad,blue powder,granular,zinc, elemental,emanay dust
Numéro MDL MFCD00011291
CAS 7440-66-6
CID PubChem 23994
ChEBI CHEBI:30185
Nom IUPAC zinc
Clé InChI HCHKCACWOHOZIP-UHFFFAOYSA-N
SMILES [Zn]
Formule moléculaire Zn
14

Chromium sputtering target, 76.2mm (3.0in) dia x 6.35mm (0.250in) thick, 99.95% (metals basis)

CAS: 7440-47-3 Formule moléculaire: Cr Poids moléculaire (g/mol): 52.00 Numéro MDL: MFCD00010944 Clé InChI: VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N Synonyme: chrom,chrome,cromo,metal,chrome french,compounds,chrom german,chromium, elemental,chromium, metal,ccris 159 CID PubChem: 23976 ChEBI: CHEBI:28073 Nom IUPAC: chromium SMILES: [Cr]

Poids moléculaire (g/mol) 52.00
Synonyme chrom,chrome,cromo,metal,chrome french,compounds,chrom german,chromium, elemental,chromium, metal,ccris 159
Numéro MDL MFCD00010944
CAS 7440-47-3
CID PubChem 23976
ChEBI CHEBI:28073
Nom IUPAC chromium
Clé InChI VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N
SMILES [Cr]
Formule moléculaire Cr
15

Nickel Chromium, sputtering target, 50.8mm (2.0in) dia x 3.18mm (0.125in) thick, 99.95% (metals basis)

CAS: 11106-97-1 Formule moléculaire: CrNi Poids moléculaire (g/mol): 110.69 Numéro MDL: MFCD00673110 Clé InChI: VNNRSPGTAMTISX-UHFFFAOYSA-N Synonyme: nickel chromium,nickel-chromium,nicr,nickel chromium lump,chromium, compd. with nickel 1:1,chromium nickel,acmc-1byoe,nickel chromium powder,-140+325 mesh,nickel chromium wire, 1.0mm 0.04in dia,nickel chromium wire, 0.25mm 0.01in dia CID PubChem: 11320920 Nom IUPAC: chromium;nickel SMILES: [Cr].[Ni]

Poids moléculaire (g/mol) 110.69
Synonyme nickel chromium,nickel-chromium,nicr,nickel chromium lump,chromium, compd. with nickel 1:1,chromium nickel,acmc-1byoe,nickel chromium powder,-140+325 mesh,nickel chromium wire, 1.0mm 0.04in dia,nickel chromium wire, 0.25mm 0.01in dia
Numéro MDL MFCD00673110
CAS 11106-97-1
CID PubChem 11320920
Nom IUPAC chromium;nickel
Clé InChI VNNRSPGTAMTISX-UHFFFAOYSA-N
SMILES [Cr].[Ni]
Formule moléculaire CrNi