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Cibles de pulvérisation

Les cibles de pulvérisation sont des matériaux spécialisés utilisés pour le dépôt de couches minces dans diverses industries, notamment l’électronique, l’énergie et le textile. Ces cibles peuvent être composées de différents éléments ou alliages, tels que des métaux purs ou des céramiques, et sont bombardées par des ions, ce qui provoque l’éjection d’atomes ou de molécules de leur surface. Ces particules se déposent ensuite sur un substrat pour former un film mince et uniforme. Il existe différents types de cibles de projection, notamment des cibles planes ou rotatives, ainsi qu’une gamme de matériaux tels que l’or, l’argent, le titane et le tungstène. Leur sélection dépend de différents facteurs, notamment les exigences de l’application, les propriétés des matériaux et la compatibilité avec le système de projection.
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1

Cible à sputtering de molybdène, diamètre 50,8 mm (2,0 po) x 3,18 mm (0,125 po) d’épaisseur, 99,95% (base métallique)

CAS: 7439-98-7 Formule moléculaire: Mo Poids moléculaire (g/mol): 95.95 Numéro MDL: MFCD00003465 Clé InChI: ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N Synonyme: molybdenum, elemental,6+ ion,mchvl,vi ion,molybdenum, metallic,metco 63,atom,molybdenum, ion 6+,tsm1,amperit 106.2 PubChem CID: 23932 ChEBI: CHEBI:28685 Nom de l’IUPAC: Molybdène SOURIRES: [Mo]

Poids moléculaire (g/mol) 95.95
PubChem CID 23932
Synonyme molybdenum, elemental,6+ ion,mchvl,vi ion,molybdenum, metallic,metco 63,atom,molybdenum, ion 6+,tsm1,amperit 106.2
Numéro MDL MFCD00003465
Nom de l’IUPAC Molybdène
CAS 7439-98-7
ChEBI CHEBI:28685
Clé InChI ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N
SOURIRES [Mo]
Formule moléculaire Mo
2

Cible à éclaboussure de nickel, diamètre de 50,8 mm (2,0 po) x 6,35 mm (0,250 po) d’épaisseur, 99,99% (base métallique)

CAS: 7440-02-0 Formule moléculaire: Ni Poids moléculaire (g/mol): 58.69 Numéro MDL: MFCD00011137 MFCD06798735 Clé InChI: PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Synonyme: raney alloy,fibrex,catalyst,particles,fibrex p,nickel, elemental,nichel italian,nickel, soluble salts,carbonyl powder,niccolum PubChem CID: 935 ChEBI: CHEBI:28112 Nom de l’IUPAC: nickel SOURIRES: [Ni]

Poids moléculaire (g/mol) 58.69
PubChem CID 935
Synonyme raney alloy,fibrex,catalyst,particles,fibrex p,nickel, elemental,nichel italian,nickel, soluble salts,carbonyl powder,niccolum
Numéro MDL MFCD00011137 MFCD06798735
Nom de l’IUPAC nickel
CAS 7440-02-0
ChEBI CHEBI:28112
Clé InChI PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N
SOURIRES [Ni]
Formule moléculaire Ni
3

Cible à sputtering en titane, 50,8 mm (2,0 po) de diamètre x 6,35 mm (0,250 po) d’épaisseur, 99,7% (base métallique)

CAS: 7440-32-6 Formule moléculaire: Ti Poids moléculaire (g/mol): 47.87 Numéro MDL: MFCD00011264,MFCD00151301 Clé InChI: RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Synonyme: oremet,alloy,cp,vt1,c.p.,contimet 30,jistp28,titanium-125,ii hydride,titan vt 1-1 PubChem CID: 23963 ChEBI: CHEBI:33341 Nom de l’IUPAC: Titane SOURIRES: [Ti]

Poids moléculaire (g/mol) 47.87
PubChem CID 23963
Synonyme oremet,alloy,cp,vt1,c.p.,contimet 30,jistp28,titanium-125,ii hydride,titan vt 1-1
Numéro MDL MFCD00011264,MFCD00151301
Nom de l’IUPAC Titane
CAS 7440-32-6
ChEBI CHEBI:33341
Clé InChI RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N
SOURIRES [Ti]
Formule moléculaire Ti
4

Cible de pulvérisation d’oxyde de silicium(II), diamètre 50,8 mm (2,0 po) x 6,35 mm (0,250 po) d’épaisseur, 99,9% (base métallique)

CAS: 10097-28-6 Formule moléculaire: OSi Poids moléculaire (g/mol): 44.084 Numéro MDL: MFCD00151536 Clé InChI: LIVNPJMFVYWSIS-UHFFFAOYSA-N Synonyme: silicon monoxide,silylene, oxo,silicon ii oxide,unii-1oqn9cbg7l,1oqn9cbg7l,silicon ii oxide, optical grade,sio,oxidosilicon,oxosilanylidene,oxosilylene PubChem CID: 66241 ChEBI: CHEBI:30588 Nom de l’IUPAC: Oxoniumylidynésilanide SOURIRES: [O+]#[Si-]

Poids moléculaire (g/mol) 44.084
PubChem CID 66241
Synonyme silicon monoxide,silylene, oxo,silicon ii oxide,unii-1oqn9cbg7l,1oqn9cbg7l,silicon ii oxide, optical grade,sio,oxidosilicon,oxosilanylidene,oxosilylene
Numéro MDL MFCD00151536
Nom de l’IUPAC Oxoniumylidynésilanide
CAS 10097-28-6
ChEBI CHEBI:30588
Clé InChI LIVNPJMFVYWSIS-UHFFFAOYSA-N
SOURIRES [O+]#[Si-]
Formule moléculaire OSi
5

Cible à sputtering en nitrure de titane, 50,8 mm (2,0 po) de diamètre x 6,35 mm (0,250 po) d’épaisseur, 99,5% (base métallique)

CAS: 25583-20-4 Formule moléculaire: NTi Poids moléculaire (g/mol): 61.87 Numéro MDL: MFCD00049596 Clé InChI: NRTOMJZYCJJWKI-UHFFFAOYSA-N Synonyme: titanium nitride,titanium nitride tin,nitridotitanium,unii-6rw464feff,titannitrid,titaniumylidyneamine,titanium mononitride,titanium nitride, <3 mum,6rw464feff,titanium nitride tin grade a PubChem CID: 93091 Nom de l’IUPAC: azanylidynetitanium SOURIRES: N#[Ti]

Poids moléculaire (g/mol) 61.87
PubChem CID 93091
Synonyme titanium nitride,titanium nitride tin,nitridotitanium,unii-6rw464feff,titannitrid,titaniumylidyneamine,titanium mononitride,titanium nitride, <3 mum,6rw464feff,titanium nitride tin grade a
Numéro MDL MFCD00049596
Nom de l’IUPAC azanylidynetitanium
CAS 25583-20-4
Clé InChI NRTOMJZYCJJWKI-UHFFFAOYSA-N
SOURIRES N#[Ti]
Formule moléculaire NTi
6

Cible à pulvérisation d’oxyde de zinc, 50,8 mm (2,0 po) de diamètre x 3,18 mm (0,125 po) d’épaisseur, 99,9% (base métallique)

CAS: 1314-13-2 Formule moléculaire: OZn Poids moléculaire (g/mol): 81.38 Numéro MDL: MFCD00011300 Clé InChI: XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N Synonyme: zinc oxide,zinc white,amalox,permanent white,Chinese white,snow white,emanay zinc oxide,felling zinc oxide,zinc oxide zno,akro-zinc bar 85 PubChem CID: 14806 ChEBI: CHEBI:36560 Nom de l’IUPAC: oxozinc SOURIRES: O=[Zn]

Poids moléculaire (g/mol) 81.38
PubChem CID 14806
Synonyme zinc oxide,zinc white,amalox,permanent white,Chinese white,snow white,emanay zinc oxide,felling zinc oxide,zinc oxide zno,akro-zinc bar 85
Numéro MDL MFCD00011300
Nom de l’IUPAC oxozinc
CAS 1314-13-2
ChEBI CHEBI:36560
Clé InChI XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N
SOURIRES O=[Zn]
Formule moléculaire OZn
7

Cible à pulvérisation en tungstène, 50,8 mm (2,0 po) de diamètre x 6,35 mm (0,250 po) d’épaisseur, 99,95% (base métallique)

CAS: 7440-33-7 Formule moléculaire: W Poids moléculaire (g/mol): 183.84 Numéro MDL: MFCD00011461 Clé InChI: WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N Synonyme: wolfram,ion,va,tungsten, elemental,wolframium,unii-v9306cxo6g,4+ ion,tungsten, soluble compounds,tungsten, insoluble compounds,powder PubChem CID: 23964 ChEBI: CHEBI:27998 Nom de l’IUPAC: Tungstène SOURIRES: [W]

Poids moléculaire (g/mol) 183.84
PubChem CID 23964
Synonyme wolfram,ion,va,tungsten, elemental,wolframium,unii-v9306cxo6g,4+ ion,tungsten, soluble compounds,tungsten, insoluble compounds,powder
Numéro MDL MFCD00011461
Nom de l’IUPAC Tungstène
CAS 7440-33-7
ChEBI CHEBI:27998
Clé InChI WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N
SOURIRES [W]
Formule moléculaire W
8

Cible à sputtering en zinc, diamètre 50,8 mm (2,0 po) x 3,18 mm (0,125 po) d’épaisseur, 99,99% (base métallique)

CAS: 7440-66-6 Formule moléculaire: Zn Poids moléculaire (g/mol): 65.38 Numéro MDL: MFCD00011291 Clé InChI: HCHKCACWOHOZIP-UHFFFAOYSA-N Synonyme: dust,cinc,powder,merrillite,rheinzink,jasad,blue powder,granular,zinc, elemental,emanay dust PubChem CID: 23994 ChEBI: CHEBI:30185 Nom de l’IUPAC: Zinc SOURIRES: [Zn]

Poids moléculaire (g/mol) 65.38
PubChem CID 23994
Synonyme dust,cinc,powder,merrillite,rheinzink,jasad,blue powder,granular,zinc, elemental,emanay dust
Numéro MDL MFCD00011291
Nom de l’IUPAC Zinc
CAS 7440-66-6
ChEBI CHEBI:30185
Clé InChI HCHKCACWOHOZIP-UHFFFAOYSA-N
SOURIRES [Zn]
Formule moléculaire Zn
9

Cible à sputtering de zinc, diamètre 50,8 mm (2,0 po) x 6,35 mm (0,250 po) d’épaisseur, 99,99% (base métallique)

CAS: 7440-66-6 Formule moléculaire: Zn Poids moléculaire (g/mol): 65.38 Numéro MDL: MFCD00011291 Clé InChI: HCHKCACWOHOZIP-UHFFFAOYSA-N Synonyme: dust,cinc,powder,merrillite,rheinzink,jasad,blue powder,granular,zinc, elemental,emanay dust PubChem CID: 23994 ChEBI: CHEBI:30185 Nom de l’IUPAC: Zinc SOURIRES: [Zn]

Poids moléculaire (g/mol) 65.38
PubChem CID 23994
Synonyme dust,cinc,powder,merrillite,rheinzink,jasad,blue powder,granular,zinc, elemental,emanay dust
Numéro MDL MFCD00011291
Nom de l’IUPAC Zinc
CAS 7440-66-6
ChEBI CHEBI:30185
Clé InChI HCHKCACWOHOZIP-UHFFFAOYSA-N
SOURIRES [Zn]
Formule moléculaire Zn
10

Nickel chrome, cible à sputtering, 50,8 mm (2,0 po) de diamètre x 6,35 mm (0,250 po) d’épaisseur, 99,95% (base métallique)

CAS: 11106-97-1 Formule moléculaire: CrNi Poids moléculaire (g/mol): 110.69 Numéro MDL: MFCD00673110 Clé InChI: VNNRSPGTAMTISX-UHFFFAOYSA-N Synonyme: nickel chromium,nickel-chromium,nicr,nickel chromium lump,chromium, compd. with nickel 1:1,chromium nickel,acmc-1byoe,nickel chromium powder,-140+325 mesh,nickel chromium wire, 1.0mm 0.04in dia,nickel chromium wire, 0.25mm 0.01in dia PubChem CID: 11320920 Nom de l’IUPAC: Nickel de chrome SOURIRES: [Cr].[Ni]

Poids moléculaire (g/mol) 110.69
PubChem CID 11320920
Synonyme nickel chromium,nickel-chromium,nicr,nickel chromium lump,chromium, compd. with nickel 1:1,chromium nickel,acmc-1byoe,nickel chromium powder,-140+325 mesh,nickel chromium wire, 1.0mm 0.04in dia,nickel chromium wire, 0.25mm 0.01in dia
Numéro MDL MFCD00673110
Nom de l’IUPAC Nickel de chrome
CAS 11106-97-1
Clé InChI VNNRSPGTAMTISX-UHFFFAOYSA-N
SOURIRES [Cr].[Ni]
Formule moléculaire CrNi
11

Cible à écrasement de nickel, 50,8 mm (2,0 po) de diamètre x 3,18 mm (0,125 po) d’épaisseur, 99,99% (base métallique)

CAS: 7440-02-0 Formule moléculaire: Ni Poids moléculaire (g/mol): 58.69 Numéro MDL: MFCD00011137 MFCD06798735 Clé InChI: PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Synonyme: raney alloy,fibrex,catalyst,particles,fibrex p,nickel, elemental,nichel italian,nickel, soluble salts,carbonyl powder,niccolum PubChem CID: 935 ChEBI: CHEBI:28112 Nom de l’IUPAC: nickel SOURIRES: [Ni]

Poids moléculaire (g/mol) 58.69
PubChem CID 935
Synonyme raney alloy,fibrex,catalyst,particles,fibrex p,nickel, elemental,nichel italian,nickel, soluble salts,carbonyl powder,niccolum
Numéro MDL MFCD00011137 MFCD06798735
Nom de l’IUPAC nickel
CAS 7440-02-0
ChEBI CHEBI:28112
Clé InChI PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N
SOURIRES [Ni]
Formule moléculaire Ni
12

Cible à sputtering de manganèse, diamètre de 76,2 mm (3,0 po) x 3,18 mm (0,125 po) d’épaisseur, 99,95% (base métallique)

CAS: 7439-96-5 Formule moléculaire: Mn Poids moléculaire (g/mol): 54.94 Numéro MDL: MFCD00011111 Clé InChI: PWHULOQIROXLJO-UHFFFAOYSA-N Synonyme: colloidal,mangan,manganese, elemental,cutaval,magnacat,metal alloy,tronamang,fume,mangan polish,compounds PubChem CID: 23930 ChEBI: CHEBI:35154 Nom de l’IUPAC: manganèse SOURIRES: [Mn]

Poids moléculaire (g/mol) 54.94
PubChem CID 23930
Synonyme colloidal,mangan,manganese, elemental,cutaval,magnacat,metal alloy,tronamang,fume,mangan polish,compounds
Numéro MDL MFCD00011111
Nom de l’IUPAC manganèse
CAS 7439-96-5
ChEBI CHEBI:35154
Clé InChI PWHULOQIROXLJO-UHFFFAOYSA-N
SOURIRES [Mn]
Formule moléculaire Mn
13

Cible sputtering de molybdène, 50,8 mm (2,0 po) de diamètre x 6,35 mm (0,250 po) d’épaisseur, 99,95% (base métallique)

CAS: 7439-98-7 Formule moléculaire: Mo Poids moléculaire (g/mol): 95.95 Numéro MDL: MFCD00003465 Clé InChI: ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N Synonyme: molybdenum, elemental,6+ ion,mchvl,vi ion,molybdenum, metallic,metco 63,atom,molybdenum, ion 6+,tsm1,amperit 106.2 PubChem CID: 23932 ChEBI: CHEBI:28685 Nom de l’IUPAC: Molybdène SOURIRES: [Mo]

Poids moléculaire (g/mol) 95.95
PubChem CID 23932
Synonyme molybdenum, elemental,6+ ion,mchvl,vi ion,molybdenum, metallic,metco 63,atom,molybdenum, ion 6+,tsm1,amperit 106.2
Numéro MDL MFCD00003465
Nom de l’IUPAC Molybdène
CAS 7439-98-7
ChEBI CHEBI:28685
Clé InChI ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N
SOURIRES [Mo]
Formule moléculaire Mo
14

Objectif à pulvérisation en niobium, 50,8 mm (2,0 po) de diamètre x 6,35 mm (0,250 po) d’épaisseur, 99,95% (base métallique excluant le Ta)

CAS: 3-1-7440 Formule moléculaire: Nb Poids moléculaire (g/mol): 92.91 Numéro MDL: MFCD00011126 Clé InChI: GUCVJGMIXFAOAE-UHFFFAOYSA-N Synonyme: columbium,element,niobium-93,powder,foil,rod,vn 1,foil, 0.25mm 0.01in thick,columbio,niobio PubChem CID: 23936 ChEBI: CHEBI:33344 Nom de l’IUPAC: Niobium SOURIRES: [Nb]

Poids moléculaire (g/mol) 92.91
PubChem CID 23936
Synonyme columbium,element,niobium-93,powder,foil,rod,vn 1,foil, 0.25mm 0.01in thick,columbio,niobio
Numéro MDL MFCD00011126
Nom de l’IUPAC Niobium
CAS 3-1-7440
ChEBI CHEBI:33344
Clé InChI GUCVJGMIXFAOAE-UHFFFAOYSA-N
SOURIRES [Nb]
Formule moléculaire Nb
15

Cible à sputtering en titane, diamètre de 76,2 mm (3,0 po) x 3,18 mm (0,125 po) d’épaisseur, 99,995% (base métallique)

CAS: 7440-32-6 Formule moléculaire: Ti Poids moléculaire (g/mol): 47.87 Numéro MDL: MFCD00011264,MFCD00151301 Clé InChI: RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Synonyme: oremet,alloy,cp,vt1,c.p.,contimet 30,jistp28,titanium-125,ii hydride,titan vt 1-1 PubChem CID: 23963 ChEBI: CHEBI:33341 Nom de l’IUPAC: Titane SOURIRES: [Ti]

Poids moléculaire (g/mol) 47.87
PubChem CID 23963
Synonyme oremet,alloy,cp,vt1,c.p.,contimet 30,jistp28,titanium-125,ii hydride,titan vt 1-1
Numéro MDL MFCD00011264,MFCD00151301
Nom de l’IUPAC Titane
CAS 7440-32-6
ChEBI CHEBI:33341
Clé InChI RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N
SOURIRES [Ti]
Formule moléculaire Ti