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Sputtering Targets

Sputtering targets are specialized materials employed for thin-film deposition in various industries, including electronics, energy, and textiles. These targets can be composed of different elemental or alloy compositions, such as pure metals or ceramics, and are bombarded by ions, causing atoms or molecules to be ejected from their surface. These particles then deposit on a substrate to create a thin, uniform film. Different types of sputtering targets exist, including planar or rotary targets and a range of materials, such as gold, silver, titanium, and tungsten. Their selection depends on different factors like the application requirements, material properties, and compatibility with the sputtering system.
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1

Cobalt sputtering target, 50.8mm (2.0in) dia x 6.35mm (0.250in) thick, 99.95% (metals basis)

CAS: 7440-48-4 Formule moléculaire: Co Poids moléculaire (g/mol): 58.93 Numéro MDL: MFCD00010935 Clé InChI: GUTLYIVDDKVIGB-UHFFFAOYSA-N Synonyme: kobalt,cobalto,moncation,co1+,cobaltum,powder,cobalt, ion co1+,hydrido,atom,hydride CID PubChem: 104730 ChEBI: CHEBI:27638 Nom IUPAC: cobalt SMILES: [Co]

Poids moléculaire (g/mol) 58.93
Synonyme kobalt,cobalto,moncation,co1+,cobaltum,powder,cobalt, ion co1+,hydrido,atom,hydride
Numéro MDL MFCD00010935
CAS 7440-48-4
CID PubChem 104730
ChEBI CHEBI:27638
Nom IUPAC cobalt
Clé InChI GUTLYIVDDKVIGB-UHFFFAOYSA-N
SMILES [Co]
Formule moléculaire Co
2

Cobalt sputtering target, 50.8mm (2.0in) dia x 3.18mm (0.125in) thick, 99.95% (metals basis)

CAS: 7440-48-4 Formule moléculaire: Co Poids moléculaire (g/mol): 58.93 Numéro MDL: MFCD00010935 Clé InChI: GUTLYIVDDKVIGB-UHFFFAOYSA-N Synonyme: kobalt,cobalto,moncation,co1+,cobaltum,powder,cobalt, ion co1+,hydrido,atom,hydride CID PubChem: 104730 ChEBI: CHEBI:27638 Nom IUPAC: cobalt SMILES: [Co]

Poids moléculaire (g/mol) 58.93
Synonyme kobalt,cobalto,moncation,co1+,cobaltum,powder,cobalt, ion co1+,hydrido,atom,hydride
Numéro MDL MFCD00010935
CAS 7440-48-4
CID PubChem 104730
ChEBI CHEBI:27638
Nom IUPAC cobalt
Clé InChI GUTLYIVDDKVIGB-UHFFFAOYSA-N
SMILES [Co]
Formule moléculaire Co
3

Copper sputtering target, 76.2mm (3.0in) dia x 6.35mm (0.250in) thick, 99.999% (metals basis)

CAS: 7440-50-8 Formule moléculaire: Cu Poids moléculaire (g/mol): 63.55 Numéro MDL: MFCD00010965 Clé InChI: RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Synonyme: cuprum,cobre,cuivre,blister,cathode,bronze,powder,anode,precipitates,kupfer CID PubChem: 23978 ChEBI: CHEBI:30052 Nom IUPAC: copper SMILES: [Cu]

Poids moléculaire (g/mol) 63.55
Synonyme cuprum,cobre,cuivre,blister,cathode,bronze,powder,anode,precipitates,kupfer
Numéro MDL MFCD00010965
CAS 7440-50-8
CID PubChem 23978
ChEBI CHEBI:30052
Nom IUPAC copper
Clé InChI RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N
SMILES [Cu]
Formule moléculaire Cu
4

Chromium sputtering target, 50.8mm (2.0in) dia x 3.18mm (0.125in) thick, 99.95% (metals basis)

CAS: 7440-47-3 Formule moléculaire: Cr Poids moléculaire (g/mol): 52.00 Numéro MDL: MFCD00010944 Clé InChI: VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N Synonyme: chrom,chrome,cromo,metal,chrome french,compounds,chrom german,chromium, elemental,chromium, metal,ccris 159 CID PubChem: 23976 ChEBI: CHEBI:28073 Nom IUPAC: chromium SMILES: [Cr]

Poids moléculaire (g/mol) 52.00
Synonyme chrom,chrome,cromo,metal,chrome french,compounds,chrom german,chromium, elemental,chromium, metal,ccris 159
Numéro MDL MFCD00010944
CAS 7440-47-3
CID PubChem 23976
ChEBI CHEBI:28073
Nom IUPAC chromium
Clé InChI VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N
SMILES [Cr]
Formule moléculaire Cr
5

Copper sputtering target, 76.2mm (3.0in) dia x 3.18mm (0.125in) thick, 99.999% (metals basis)

CAS: 7440-50-8 Formule moléculaire: Cu Poids moléculaire (g/mol): 63.55 Numéro MDL: MFCD00010965 Clé InChI: RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Synonyme: cuprum,cobre,cuivre,blister,cathode,bronze,powder,anode,precipitates,kupfer CID PubChem: 23978 ChEBI: CHEBI:30052 Nom IUPAC: copper SMILES: [Cu]

Poids moléculaire (g/mol) 63.55
Synonyme cuprum,cobre,cuivre,blister,cathode,bronze,powder,anode,precipitates,kupfer
Numéro MDL MFCD00010965
CAS 7440-50-8
CID PubChem 23978
ChEBI CHEBI:30052
Nom IUPAC copper
Clé InChI RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N
SMILES [Cu]
Formule moléculaire Cu
6

Ytterbium sputtering target, 50.8mm dia x 1.59mm thick

CAS: 7440-64-4 Formule moléculaire: Yb Poids moléculaire (g/mol): 173.05 Numéro MDL: MFCD00011286 Clé InChI: NAWDYIZEMPQZHO-UHFFFAOYSA-N Synonyme: unii-mnq4o4wsi1,hydride,mnq4o4wsi1,foil, 3n,yterbio,ingot,powder,ii ion,chips, 3n,ingot, 3n CID PubChem: 23992 ChEBI: CHEBI:33381 Nom IUPAC: ytterbium SMILES: [Yb]

Poids moléculaire (g/mol) 173.05
Synonyme unii-mnq4o4wsi1,hydride,mnq4o4wsi1,foil, 3n,yterbio,ingot,powder,ii ion,chips, 3n,ingot, 3n
Numéro MDL MFCD00011286
CAS 7440-64-4
CID PubChem 23992
ChEBI CHEBI:33381
Nom IUPAC ytterbium
Clé InChI NAWDYIZEMPQZHO-UHFFFAOYSA-N
SMILES [Yb]
Formule moléculaire Yb
7

Gadolinium sputtering target, 50.8mm dia x 3.18mm thick

CAS: 7440-54-2 Formule moléculaire: Gd Poids moléculaire (g/mol): 157.25 Numéro MDL: MFCD00011022 Clé InChI: UIWYJDYFSGRHKR-UHFFFAOYSA-N Synonyme: atom,gadolinio,unii-au0v1lm3jt,trihydride,au0v1lm3jt,foil, 3n,gadolinium, elemental,ingot,gadolinium, chips,compounds CID PubChem: 23982 ChEBI: CHEBI:33375 Nom IUPAC: gadolinium SMILES: [Gd]

Poids moléculaire (g/mol) 157.25
Synonyme atom,gadolinio,unii-au0v1lm3jt,trihydride,au0v1lm3jt,foil, 3n,gadolinium, elemental,ingot,gadolinium, chips,compounds
Numéro MDL MFCD00011022
CAS 7440-54-2
CID PubChem 23982
ChEBI CHEBI:33375
Nom IUPAC gadolinium
Clé InChI UIWYJDYFSGRHKR-UHFFFAOYSA-N
SMILES [Gd]
Formule moléculaire Gd
8

Cerium sputtering target, 76.2mm dia x 3.18mm thick

CAS: 7440-45-1 Formule moléculaire: Ce Poids moléculaire (g/mol): 140.12 Numéro MDL: MFCD00010924 Clé InChI: GWXLDORMOJMVQZ-UHFFFAOYSA-N Synonyme: cerio,ingot,cerium, chips,foil, 3n,zer,ceramics-aeium,acmc-1bl5r,chips, 3n reo,powder,-200 mesh,cerium CID PubChem: 23974 ChEBI: CHEBI:33369 Nom IUPAC: cerium SMILES: [Ce]

Poids moléculaire (g/mol) 140.12
Synonyme cerio,ingot,cerium, chips,foil, 3n,zer,ceramics-aeium,acmc-1bl5r,chips, 3n reo,powder,-200 mesh,cerium
Numéro MDL MFCD00010924
CAS 7440-45-1
CID PubChem 23974
ChEBI CHEBI:33369
Nom IUPAC cerium
Clé InChI GWXLDORMOJMVQZ-UHFFFAOYSA-N
SMILES [Ce]
Formule moléculaire Ce
9

Titanium sputtering target, 76.2mm (3.0in) dia x 6.35mm (0.250in) thick, 99.995% (metals basis)

CAS: 7440-32-6 Formule moléculaire: Ti Poids moléculaire (g/mol): 47.87 Numéro MDL: MFCD00011264,MFCD00151301 Clé InChI: RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Synonyme: oremet,alloy,cp,vt1,c.p.,contimet 30,jistp28,titanium-125,ii hydride,titan vt 1-1 CID PubChem: 23963 ChEBI: CHEBI:33341 Nom IUPAC: titanium SMILES: [Ti]

Poids moléculaire (g/mol) 47.87
Synonyme oremet,alloy,cp,vt1,c.p.,contimet 30,jistp28,titanium-125,ii hydride,titan vt 1-1
Numéro MDL MFCD00011264,MFCD00151301
CAS 7440-32-6
CID PubChem 23963
ChEBI CHEBI:33341
Nom IUPAC titanium
Clé InChI RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N
SMILES [Ti]
Formule moléculaire Ti
10

Silver sputtering target, 76.2mm (3.0in) dia x 3.18mm (0.125in) thick, 99.99% (metals basis)

CAS: 7440-22-4 Formule moléculaire: Ag Poids moléculaire (g/mol): 107.87 Numéro MDL: MFCD00003397 Clé InChI: BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Synonyme: argentum,metal,atom,colloidal,silver, colloidal,silver, elemental,algaedyn,amalgum,epinall,silber CID PubChem: 23954 ChEBI: CHEBI:9141 Nom IUPAC: silver SMILES: [Ag]

Poids moléculaire (g/mol) 107.87
Synonyme argentum,metal,atom,colloidal,silver, colloidal,silver, elemental,algaedyn,amalgum,epinall,silber
Numéro MDL MFCD00003397
CAS 7440-22-4
CID PubChem 23954
ChEBI CHEBI:9141
Nom IUPAC silver
Clé InChI BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N
SMILES [Ag]
Formule moléculaire Ag
11

Silver sputtering target, 50.8mm (2.0in) dia x 3.18mm (0.125in) thick, 99.99% (metals basis)

CAS: 7440-22-4 Formule moléculaire: Ag Poids moléculaire (g/mol): 107.87 Numéro MDL: MFCD00003397 Clé InChI: BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Synonyme: argentum,metal,atom,colloidal,silver, colloidal,silver, elemental,algaedyn,amalgum,epinall,silber CID PubChem: 23954 ChEBI: CHEBI:9141 Nom IUPAC: silver SMILES: [Ag]

Poids moléculaire (g/mol) 107.87
Synonyme argentum,metal,atom,colloidal,silver, colloidal,silver, elemental,algaedyn,amalgum,epinall,silber
Numéro MDL MFCD00003397
CAS 7440-22-4
CID PubChem 23954
ChEBI CHEBI:9141
Nom IUPAC silver
Clé InChI BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N
SMILES [Ag]
Formule moléculaire Ag
12

Tungsten sputtering target, 50.8mm (2.0in) dia x 3.18mm (0.125in) thick, 99.95% (metals basis)

CAS: 7440-33-7 Formule moléculaire: W Poids moléculaire (g/mol): 183.84 Numéro MDL: MFCD00011461 Clé InChI: WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N Synonyme: wolfram,ion,va,tungsten, elemental,wolframium,unii-v9306cxo6g,4+ ion,tungsten, soluble compounds,tungsten, insoluble compounds,powder CID PubChem: 23964 ChEBI: CHEBI:27998 Nom IUPAC: tungsten SMILES: [W]

Poids moléculaire (g/mol) 183.84
Synonyme wolfram,ion,va,tungsten, elemental,wolframium,unii-v9306cxo6g,4+ ion,tungsten, soluble compounds,tungsten, insoluble compounds,powder
Numéro MDL MFCD00011461
CAS 7440-33-7
CID PubChem 23964
ChEBI CHEBI:27998
Nom IUPAC tungsten
Clé InChI WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N
SMILES [W]
Formule moléculaire W
13

Tungsten sputtering target, 76.2mm (3.0in) dia x 6.35mm (0.250in) thick, 99.95% (metals basis)

CAS: 7440-33-7 Formule moléculaire: W Poids moléculaire (g/mol): 183.84 Numéro MDL: MFCD00011461 Clé InChI: WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N Synonyme: wolfram,ion,va,tungsten, elemental,wolframium,unii-v9306cxo6g,4+ ion,tungsten, soluble compounds,tungsten, insoluble compounds,powder CID PubChem: 23964 ChEBI: CHEBI:27998 Nom IUPAC: tungsten SMILES: [W]

Poids moléculaire (g/mol) 183.84
Synonyme wolfram,ion,va,tungsten, elemental,wolframium,unii-v9306cxo6g,4+ ion,tungsten, soluble compounds,tungsten, insoluble compounds,powder
Numéro MDL MFCD00011461
CAS 7440-33-7
CID PubChem 23964
ChEBI CHEBI:27998
Nom IUPAC tungsten
Clé InChI WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N
SMILES [W]
Formule moléculaire W
14

Zinc sputtering target, 50.8mm (2.0in) dia x 3.18mm (0.125in) thick, 99.99% (metals basis)

CAS: 7440-66-6 Formule moléculaire: Zn Poids moléculaire (g/mol): 65.38 Numéro MDL: MFCD00011291 Clé InChI: HCHKCACWOHOZIP-UHFFFAOYSA-N Synonyme: dust,cinc,powder,merrillite,rheinzink,jasad,blue powder,granular,zinc, elemental,emanay dust CID PubChem: 23994 ChEBI: CHEBI:30185 Nom IUPAC: zinc SMILES: [Zn]

Poids moléculaire (g/mol) 65.38
Synonyme dust,cinc,powder,merrillite,rheinzink,jasad,blue powder,granular,zinc, elemental,emanay dust
Numéro MDL MFCD00011291
CAS 7440-66-6
CID PubChem 23994
ChEBI CHEBI:30185
Nom IUPAC zinc
Clé InChI HCHKCACWOHOZIP-UHFFFAOYSA-N
SMILES [Zn]
Formule moléculaire Zn
15

Zinc sputtering target, 50.8mm (2.0in) dia x 6.35mm (0.250in) thick, 99.99% (metals basis)

CAS: 7440-66-6 Formule moléculaire: Zn Poids moléculaire (g/mol): 65.38 Numéro MDL: MFCD00011291 Clé InChI: HCHKCACWOHOZIP-UHFFFAOYSA-N Synonyme: dust,cinc,powder,merrillite,rheinzink,jasad,blue powder,granular,zinc, elemental,emanay dust CID PubChem: 23994 ChEBI: CHEBI:30185 Nom IUPAC: zinc SMILES: [Zn]

Poids moléculaire (g/mol) 65.38
Synonyme dust,cinc,powder,merrillite,rheinzink,jasad,blue powder,granular,zinc, elemental,emanay dust
Numéro MDL MFCD00011291
CAS 7440-66-6
CID PubChem 23994
ChEBI CHEBI:30185
Nom IUPAC zinc
Clé InChI HCHKCACWOHOZIP-UHFFFAOYSA-N
SMILES [Zn]
Formule moléculaire Zn