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Sputtering Targets

Sputtering targets are specialized materials employed for thin-film deposition in various industries, including electronics, energy, and textiles. These targets can be composed of different elemental or alloy compositions, such as pure metals or ceramics, and are bombarded by ions, causing atoms or molecules to be ejected from their surface. These particles then deposit on a substrate to create a thin, uniform film. Different types of sputtering targets exist, including planar or rotary targets and a range of materials, such as gold, silver, titanium, and tungsten. Their selection depends on different factors like the application requirements, material properties, and compatibility with the sputtering system.
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Titanium sputtering target, 50.8mm (2.0in) dia x 6.35mm (0.250in) thick, 99.7% (metals basis)

CAS: 7440-32-6 Formule moléculaire: Ti Poids moléculaire (g/mol): 47.87 Numéro MDL: MFCD00011264,MFCD00151301 Clé InChI: RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Synonyme: oremet,alloy,cp,vt1,c.p.,contimet 30,jistp28,titanium-125,ii hydride,titan vt 1-1 PubChem CID: 23963 ChEBI: CHEBI:33341 Nom de l’IUPAC: titanium SOURIRES: [Ti]

Poids moléculaire (g/mol) 47.87
PubChem CID 23963
Synonyme oremet,alloy,cp,vt1,c.p.,contimet 30,jistp28,titanium-125,ii hydride,titan vt 1-1
Numéro MDL MFCD00011264,MFCD00151301
Nom de l’IUPAC titanium
CAS 7440-32-6
ChEBI CHEBI:33341
Clé InChI RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N
SOURIRES [Ti]
Formule moléculaire Ti
2

Silicon(II) oxide sputtering target, 50.8mm (2.0in) dia x 6.35mm (0.250in) thick, 99.9% (metals basis)

CAS: 10097-28-6 Formule moléculaire: OSi Poids moléculaire (g/mol): 44.084 Numéro MDL: MFCD00151536 Clé InChI: LIVNPJMFVYWSIS-UHFFFAOYSA-N Synonyme: silicon monoxide,silylene, oxo,silicon ii oxide,unii-1oqn9cbg7l,1oqn9cbg7l,silicon ii oxide, optical grade,sio,oxidosilicon,oxosilanylidene,oxosilylene PubChem CID: 66241 ChEBI: CHEBI:30588 Nom de l’IUPAC: oxoniumylidynesilanide SOURIRES: [O+]#[Si-]

Poids moléculaire (g/mol) 44.084
PubChem CID 66241
Synonyme silicon monoxide,silylene, oxo,silicon ii oxide,unii-1oqn9cbg7l,1oqn9cbg7l,silicon ii oxide, optical grade,sio,oxidosilicon,oxosilanylidene,oxosilylene
Numéro MDL MFCD00151536
Nom de l’IUPAC oxoniumylidynesilanide
CAS 10097-28-6
ChEBI CHEBI:30588
Clé InChI LIVNPJMFVYWSIS-UHFFFAOYSA-N
SOURIRES [O+]#[Si-]
Formule moléculaire OSi
3

Copper sputtering target, 50.8mm (2.0in) dia x 6.35mm (0.250in) thick, 99.999% (metals basis)

CAS: 7440-50-8 Formule moléculaire: Cu Poids moléculaire (g/mol): 63.55 Numéro MDL: MFCD00010965 Clé InChI: RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Synonyme: cuprum,cobre,cuivre,blister,cathode,bronze,powder,anode,precipitates,kupfer PubChem CID: 23978 ChEBI: CHEBI:30052 Nom de l’IUPAC: copper SOURIRES: [Cu]

Poids moléculaire (g/mol) 63.55
PubChem CID 23978
Synonyme cuprum,cobre,cuivre,blister,cathode,bronze,powder,anode,precipitates,kupfer
Numéro MDL MFCD00010965
Nom de l’IUPAC copper
CAS 7440-50-8
ChEBI CHEBI:30052
Clé InChI RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N
SOURIRES [Cu]
Formule moléculaire Cu
4

Tungsten sputtering target, 76.2mm (3.0in) dia x 3.18mm (0.125in) thick, 99.95% (metals basis)

CAS: 7440-33-7 Formule moléculaire: W Poids moléculaire (g/mol): 183.84 Numéro MDL: MFCD00011461 Clé InChI: WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N Synonyme: wolfram,ion,va,tungsten, elemental,wolframium,unii-v9306cxo6g,4+ ion,tungsten, soluble compounds,tungsten, insoluble compounds,powder PubChem CID: 23964 ChEBI: CHEBI:27998 Nom de l’IUPAC: tungsten SOURIRES: [W]

Poids moléculaire (g/mol) 183.84
PubChem CID 23964
Synonyme wolfram,ion,va,tungsten, elemental,wolframium,unii-v9306cxo6g,4+ ion,tungsten, soluble compounds,tungsten, insoluble compounds,powder
Numéro MDL MFCD00011461
Nom de l’IUPAC tungsten
CAS 7440-33-7
ChEBI CHEBI:27998
Clé InChI WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N
SOURIRES [W]
Formule moléculaire W
5

Titanium sputtering target, 50.8mm (2.0in) dia x 3.18mm (0.125in) thick, 99.995% (metals basis)

CAS: 7440-32-6 Formule moléculaire: Ti Poids moléculaire (g/mol): 47.87 Numéro MDL: MFCD00011264,MFCD00151301 Clé InChI: RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Synonyme: oremet,alloy,cp,vt1,c.p.,contimet 30,jistp28,titanium-125,ii hydride,titan vt 1-1 PubChem CID: 23963 ChEBI: CHEBI:33341 Nom de l’IUPAC: titanium SOURIRES: [Ti]

Poids moléculaire (g/mol) 47.87
PubChem CID 23963
Synonyme oremet,alloy,cp,vt1,c.p.,contimet 30,jistp28,titanium-125,ii hydride,titan vt 1-1
Numéro MDL MFCD00011264,MFCD00151301
Nom de l’IUPAC titanium
CAS 7440-32-6
ChEBI CHEBI:33341
Clé InChI RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N
SOURIRES [Ti]
Formule moléculaire Ti
6

Iron sputtering target, 50.8mm (2.0in) dia x 6.35mm (0.250in) thick, 99.95% (metals basis)

CAS: 7439-89-6 Formule moléculaire: Fe Poids moléculaire (g/mol): 55.85 Numéro MDL: MFCD00010999 Clé InChI: XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N Synonyme: ferrum,iron, elemental,ferrous,remko,armco,ferrovac,hoeganaes eh,3zhp,ancor b,atomiron 5m PubChem CID: 23925 ChEBI: CHEBI:82664 Nom de l’IUPAC: iron SOURIRES: [Fe]

Poids moléculaire (g/mol) 55.85
PubChem CID 23925
Synonyme ferrum,iron, elemental,ferrous,remko,armco,ferrovac,hoeganaes eh,3zhp,ancor b,atomiron 5m
Numéro MDL MFCD00010999
Nom de l’IUPAC iron
CAS 7439-89-6
ChEBI CHEBI:82664
Clé InChI XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N
SOURIRES [Fe]
Formule moléculaire Fe
7

Copper sputtering target, 76.2mm (3.0in) dia x 6.35mm (0.250in) thick, 99.999% (metals basis)

CAS: 7440-50-8 Formule moléculaire: Cu Poids moléculaire (g/mol): 63.55 Numéro MDL: MFCD00010965 Clé InChI: RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Synonyme: cuprum,cobre,cuivre,blister,cathode,bronze,powder,anode,precipitates,kupfer PubChem CID: 23978 ChEBI: CHEBI:30052 Nom de l’IUPAC: copper SOURIRES: [Cu]

Poids moléculaire (g/mol) 63.55
PubChem CID 23978
Synonyme cuprum,cobre,cuivre,blister,cathode,bronze,powder,anode,precipitates,kupfer
Numéro MDL MFCD00010965
Nom de l’IUPAC copper
CAS 7440-50-8
ChEBI CHEBI:30052
Clé InChI RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N
SOURIRES [Cu]
Formule moléculaire Cu
8

Tin sputtering target, 50.8mm (2.0in) dia x 6.35mm (0.250in) thick, 99.995% (metals basis)

CAS: 7440-31-5 Formule moléculaire: Sn Poids moléculaire (g/mol): 118.71 Numéro MDL: MFCD00133862 Clé InChI: ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N Synonyme: powder,stannum,metallic,tin, elemental,wang,zinn,flake,tin, metal,silver matt powder,zinn german PubChem CID: 5352426 ChEBI: CHEBI:32990 Nom de l’IUPAC: tin SOURIRES: [Sn]

Poids moléculaire (g/mol) 118.71
PubChem CID 5352426
Synonyme powder,stannum,metallic,tin, elemental,wang,zinn,flake,tin, metal,silver matt powder,zinn german
Numéro MDL MFCD00133862
Nom de l’IUPAC tin
CAS 7440-31-5
ChEBI CHEBI:32990
Clé InChI ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N
SOURIRES [Sn]
Formule moléculaire Sn
9

Aluminum sputtering target, 50.8mm (2.0 in.) dia. x 3.18mm (0.125 in.) thick, 99.999% (metals basis), Thermo Scientific Chemicals

CAS: 7429-90-5 Formule moléculaire: Al Poids moléculaire (g/mol): 26.98 Numéro MDL: MFCD00134029 Clé InChI: XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N Synonyme: aluminum,metal,powder,aluminio,metana,adom,alumina fibre,aluminum flake,dust,noral aluminum PubChem CID: 5359268 ChEBI: CHEBI:33629 Nom de l’IUPAC: aluminum SOURIRES: [Al]

Poids moléculaire (g/mol) 26.98
PubChem CID 5359268
Synonyme aluminum,metal,powder,aluminio,metana,adom,alumina fibre,aluminum flake,dust,noral aluminum
Numéro MDL MFCD00134029
Nom de l’IUPAC aluminum
CAS 7429-90-5
ChEBI CHEBI:33629
Clé InChI XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N
SOURIRES [Al]
Formule moléculaire Al
10

Cobalt sputtering target, 50.8mm (2.0in) dia x 3.18mm (0.125in) thick, 99.95% (metals basis)

CAS: 7440-48-4 Formule moléculaire: Co Poids moléculaire (g/mol): 58.93 Numéro MDL: MFCD00010935 Clé InChI: GUTLYIVDDKVIGB-UHFFFAOYSA-N Synonyme: kobalt,cobalto,moncation,co1+,cobaltum,powder,cobalt, ion co1+,hydrido,atom,hydride PubChem CID: 104730 ChEBI: CHEBI:27638 Nom de l’IUPAC: cobalt SOURIRES: [Co]

Poids moléculaire (g/mol) 58.93
PubChem CID 104730
Synonyme kobalt,cobalto,moncation,co1+,cobaltum,powder,cobalt, ion co1+,hydrido,atom,hydride
Numéro MDL MFCD00010935
Nom de l’IUPAC cobalt
CAS 7440-48-4
ChEBI CHEBI:27638
Clé InChI GUTLYIVDDKVIGB-UHFFFAOYSA-N
SOURIRES [Co]
Formule moléculaire Co
11

Niobium sputtering target, 50.8mm (2.0in) dia x 6.35mm (0.250in) thick, 99.95% (metals basis excluding Ta)

CAS: 3-1-7440 Formule moléculaire: Nb Poids moléculaire (g/mol): 92.91 Numéro MDL: MFCD00011126 Clé InChI: GUCVJGMIXFAOAE-UHFFFAOYSA-N Synonyme: columbium,element,niobium-93,powder,foil,rod,vn 1,foil, 0.25mm 0.01in thick,columbio,niobio PubChem CID: 23936 ChEBI: CHEBI:33344 Nom de l’IUPAC: niobium SOURIRES: [Nb]

Poids moléculaire (g/mol) 92.91
PubChem CID 23936
Synonyme columbium,element,niobium-93,powder,foil,rod,vn 1,foil, 0.25mm 0.01in thick,columbio,niobio
Numéro MDL MFCD00011126
Nom de l’IUPAC niobium
CAS 3-1-7440
ChEBI CHEBI:33344
Clé InChI GUCVJGMIXFAOAE-UHFFFAOYSA-N
SOURIRES [Nb]
Formule moléculaire Nb
12

Titanium sputtering target, 76.2mm (3.0in) dia x 3.18mm (0.125in) thick, 99.995% (metals basis)

CAS: 7440-32-6 Formule moléculaire: Ti Poids moléculaire (g/mol): 47.87 Numéro MDL: MFCD00011264,MFCD00151301 Clé InChI: RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Synonyme: oremet,alloy,cp,vt1,c.p.,contimet 30,jistp28,titanium-125,ii hydride,titan vt 1-1 PubChem CID: 23963 ChEBI: CHEBI:33341 Nom de l’IUPAC: titanium SOURIRES: [Ti]

Poids moléculaire (g/mol) 47.87
PubChem CID 23963
Synonyme oremet,alloy,cp,vt1,c.p.,contimet 30,jistp28,titanium-125,ii hydride,titan vt 1-1
Numéro MDL MFCD00011264,MFCD00151301
Nom de l’IUPAC titanium
CAS 7440-32-6
ChEBI CHEBI:33341
Clé InChI RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N
SOURIRES [Ti]
Formule moléculaire Ti
13

Manganese sputtering target, 76.2mm (3.0in) dia x 3.18mm (0.125in) thick, 99.95% (metals basis)

CAS: 7439-96-5 Formule moléculaire: Mn Poids moléculaire (g/mol): 54.94 Numéro MDL: MFCD00011111 Clé InChI: PWHULOQIROXLJO-UHFFFAOYSA-N Synonyme: colloidal,mangan,manganese, elemental,cutaval,magnacat,metal alloy,tronamang,fume,mangan polish,compounds PubChem CID: 23930 ChEBI: CHEBI:35154 Nom de l’IUPAC: manganese SOURIRES: [Mn]

Poids moléculaire (g/mol) 54.94
PubChem CID 23930
Synonyme colloidal,mangan,manganese, elemental,cutaval,magnacat,metal alloy,tronamang,fume,mangan polish,compounds
Numéro MDL MFCD00011111
Nom de l’IUPAC manganese
CAS 7439-96-5
ChEBI CHEBI:35154
Clé InChI PWHULOQIROXLJO-UHFFFAOYSA-N
SOURIRES [Mn]
Formule moléculaire Mn
14

Molybdenum sputtering target, 50.8mm (2.0in) dia x 6.35mm (0.250in) thick, 99.95% (metals basis)

CAS: 7439-98-7 Formule moléculaire: Mo Poids moléculaire (g/mol): 95.95 Numéro MDL: MFCD00003465 Clé InChI: ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N Synonyme: molybdenum, elemental,6+ ion,mchvl,vi ion,molybdenum, metallic,metco 63,atom,molybdenum, ion 6+,tsm1,amperit 106.2 PubChem CID: 23932 ChEBI: CHEBI:28685 Nom de l’IUPAC: molybdenum SOURIRES: [Mo]

Poids moléculaire (g/mol) 95.95
PubChem CID 23932
Synonyme molybdenum, elemental,6+ ion,mchvl,vi ion,molybdenum, metallic,metco 63,atom,molybdenum, ion 6+,tsm1,amperit 106.2
Numéro MDL MFCD00003465
Nom de l’IUPAC molybdenum
CAS 7439-98-7
ChEBI CHEBI:28685
Clé InChI ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N
SOURIRES [Mo]
Formule moléculaire Mo
15

Titanium nitride sputtering target, 50.8mm (2.0in) dia x 6.35mm (0.250in) thick, 99.5% (metals basis)

CAS: 25583-20-4 Formule moléculaire: NTi Poids moléculaire (g/mol): 61.87 Numéro MDL: MFCD00049596 Clé InChI: NRTOMJZYCJJWKI-UHFFFAOYSA-N Synonyme: titanium nitride,titanium nitride tin,nitridotitanium,unii-6rw464feff,titannitrid,titaniumylidyneamine,titanium mononitride,titanium nitride, <3 mum,6rw464feff,titanium nitride tin grade a PubChem CID: 93091 Nom de l’IUPAC: azanylidynetitanium SOURIRES: N#[Ti]

Poids moléculaire (g/mol) 61.87
PubChem CID 93091
Synonyme titanium nitride,titanium nitride tin,nitridotitanium,unii-6rw464feff,titannitrid,titaniumylidyneamine,titanium mononitride,titanium nitride, <3 mum,6rw464feff,titanium nitride tin grade a
Numéro MDL MFCD00049596
Nom de l’IUPAC azanylidynetitanium
CAS 25583-20-4
Clé InChI NRTOMJZYCJJWKI-UHFFFAOYSA-N
SOURIRES N#[Ti]
Formule moléculaire NTi