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Sputtering Targets

Sputtering targets are specialized materials employed for thin-film deposition in various industries, including electronics, energy, and textiles. These targets can be composed of different elemental or alloy compositions, such as pure metals or ceramics, and are bombarded by ions, causing atoms or molecules to be ejected from their surface. These particles then deposit on a substrate to create a thin, uniform film. Different types of sputtering targets exist, including planar or rotary targets and a range of materials, such as gold, silver, titanium, and tungsten. Their selection depends on different factors like the application requirements, material properties, and compatibility with the sputtering system.
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1

Silver sputtering target, 76.2mm (3.0in) dia x 3.18mm (0.125in) thick, 99.99% (metals basis)

CAS: 7440-22-4 Formule moléculaire: Ag Poids moléculaire (g/mol): 107.87 Numéro MDL: MFCD00003397 Clé InChI: BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Synonyme: argentum,metal,atom,colloidal,silver, colloidal,silver, elemental,algaedyn,amalgum,epinall,silber CID PubChem: 23954 ChEBI: CHEBI:9141 Nom IUPAC: silver SMILES: [Ag]

Poids moléculaire (g/mol) 107.87
Synonyme argentum,metal,atom,colloidal,silver, colloidal,silver, elemental,algaedyn,amalgum,epinall,silber
Numéro MDL MFCD00003397
CAS 7440-22-4
CID PubChem 23954
ChEBI CHEBI:9141
Nom IUPAC silver
Clé InChI BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N
SMILES [Ag]
Formule moléculaire Ag
2

Molybdenum sputtering target, 50.8mm (2.0in) dia x 3.18mm (0.125in) thick, 99.95% (metals basis)

CAS: 7439-98-7 Formule moléculaire: Mo Poids moléculaire (g/mol): 95.95 Numéro MDL: MFCD00003465 Clé InChI: ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N Synonyme: molybdenum, elemental,6+ ion,mchvl,vi ion,molybdenum, metallic,metco 63,atom,molybdenum, ion 6+,tsm1,amperit 106.2 CID PubChem: 23932 ChEBI: CHEBI:28685 Nom IUPAC: molybdenum SMILES: [Mo]

Poids moléculaire (g/mol) 95.95
Synonyme molybdenum, elemental,6+ ion,mchvl,vi ion,molybdenum, metallic,metco 63,atom,molybdenum, ion 6+,tsm1,amperit 106.2
Numéro MDL MFCD00003465
CAS 7439-98-7
CID PubChem 23932
ChEBI CHEBI:28685
Nom IUPAC molybdenum
Clé InChI ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N
SMILES [Mo]
Formule moléculaire Mo
3

Titanium nitride sputtering target, 50.8mm (2.0in) dia x 3.18mm (0.125in) thick, 99.5% (metals basis)

CAS: 25583-20-4 Formule moléculaire: NTi Poids moléculaire (g/mol): 61.87 Numéro MDL: MFCD00049596 Clé InChI: NRTOMJZYCJJWKI-UHFFFAOYSA-N Synonyme: titanium nitride,titanium nitride tin,nitridotitanium,unii-6rw464feff,titannitrid,titaniumylidyneamine,titanium mononitride,titanium nitride, <3 mum,6rw464feff,titanium nitride tin grade a CID PubChem: 93091 Nom IUPAC: azanylidynetitanium SMILES: N#[Ti]

Poids moléculaire (g/mol) 61.87
Synonyme titanium nitride,titanium nitride tin,nitridotitanium,unii-6rw464feff,titannitrid,titaniumylidyneamine,titanium mononitride,titanium nitride, <3 mum,6rw464feff,titanium nitride tin grade a
Numéro MDL MFCD00049596
CAS 25583-20-4
CID PubChem 93091
Nom IUPAC azanylidynetitanium
Clé InChI NRTOMJZYCJJWKI-UHFFFAOYSA-N
SMILES N#[Ti]
Formule moléculaire NTi
4

Copper sputtering target, 50.8mm (2.0in) dia x 3.18mm (0.125in) thick, 99.995% (metals basis)

CAS: 7440-50-8 Formule moléculaire: Cu Poids moléculaire (g/mol): 63.55 Numéro MDL: MFCD00010965 Clé InChI: RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Synonyme: cuprum,cobre,cuivre,blister,cathode,bronze,powder,anode,precipitates,kupfer CID PubChem: 23978 ChEBI: CHEBI:30052 Nom IUPAC: copper SMILES: [Cu]

Poids moléculaire (g/mol) 63.55
Synonyme cuprum,cobre,cuivre,blister,cathode,bronze,powder,anode,precipitates,kupfer
Numéro MDL MFCD00010965
CAS 7440-50-8
CID PubChem 23978
ChEBI CHEBI:30052
Nom IUPAC copper
Clé InChI RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N
SMILES [Cu]
Formule moléculaire Cu
5

Titanium sputtering target, 76.2mm (3.0in) dia x 6.35mm (0.250in) thick, 99.995% (metals basis)

CAS: 7440-32-6 Formule moléculaire: Ti Poids moléculaire (g/mol): 47.87 Numéro MDL: MFCD00011264,MFCD00151301 Clé InChI: RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Synonyme: oremet,alloy,cp,vt1,c.p.,contimet 30,jistp28,titanium-125,ii hydride,titan vt 1-1 CID PubChem: 23963 ChEBI: CHEBI:33341 Nom IUPAC: titanium SMILES: [Ti]

Poids moléculaire (g/mol) 47.87
Synonyme oremet,alloy,cp,vt1,c.p.,contimet 30,jistp28,titanium-125,ii hydride,titan vt 1-1
Numéro MDL MFCD00011264,MFCD00151301
CAS 7440-32-6
CID PubChem 23963
ChEBI CHEBI:33341
Nom IUPAC titanium
Clé InChI RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N
SMILES [Ti]
Formule moléculaire Ti
6

Aluminum sputtering target, 50.8mm (2.0in) dia x 6.35mm (0.250in) thick, 99.999% (metals basis)

CAS: 7429-90-5 Formule moléculaire: Al Poids moléculaire (g/mol): 26.98 Numéro MDL: MFCD00134029 Clé InChI: XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N Synonyme: aluminum,metal,powder,aluminio,metana,adom,alumina fibre,aluminum flake,dust,noral aluminum CID PubChem: 5359268 ChEBI: CHEBI:33629 Nom IUPAC: aluminum SMILES: [Al]

Poids moléculaire (g/mol) 26.98
Synonyme aluminum,metal,powder,aluminio,metana,adom,alumina fibre,aluminum flake,dust,noral aluminum
Numéro MDL MFCD00134029
CAS 7429-90-5
CID PubChem 5359268
ChEBI CHEBI:33629
Nom IUPAC aluminum
Clé InChI XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N
SMILES [Al]
Formule moléculaire Al
7

Silicon sputtering target, 50.8mm (2.0in) dia x 3.18mm (0.125in) thick, 99.999% (metals basis)

CAS: 7440-21-3 Formule moléculaire: Si Poids moléculaire (g/mol): 28.09 Numéro MDL: MFCD00085311 Clé InChI: XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Synonyme: metal,silicone,defoamer s-10,flots 100sco,powder,dust,unii-z4152n8iui,polyeristalline powder,ccris 6599,ccris 6831 CID PubChem: 5461123 ChEBI: CHEBI:27573 Nom IUPAC: silicon SMILES: [Si]

Poids moléculaire (g/mol) 28.09
Synonyme metal,silicone,defoamer s-10,flots 100sco,powder,dust,unii-z4152n8iui,polyeristalline powder,ccris 6599,ccris 6831
Numéro MDL MFCD00085311
CAS 7440-21-3
CID PubChem 5461123
ChEBI CHEBI:27573
Nom IUPAC silicon
Clé InChI XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N
SMILES [Si]
Formule moléculaire Si
8

Zinc sputtering target, 76.2mm (3.0in) dia x 3.18mm (0.125in) thick, 99.99% (metals basis)

CAS: 7440-66-6 Formule moléculaire: Zn Poids moléculaire (g/mol): 65.38 Numéro MDL: MFCD00011291 Clé InChI: HCHKCACWOHOZIP-UHFFFAOYSA-N Synonyme: dust,cinc,powder,merrillite,rheinzink,jasad,blue powder,granular,zinc, elemental,emanay dust CID PubChem: 23994 ChEBI: CHEBI:30185 Nom IUPAC: zinc SMILES: [Zn]

Poids moléculaire (g/mol) 65.38
Synonyme dust,cinc,powder,merrillite,rheinzink,jasad,blue powder,granular,zinc, elemental,emanay dust
Numéro MDL MFCD00011291
CAS 7440-66-6
CID PubChem 23994
ChEBI CHEBI:30185
Nom IUPAC zinc
Clé InChI HCHKCACWOHOZIP-UHFFFAOYSA-N
SMILES [Zn]
Formule moléculaire Zn
9

Molybdenum sputtering target, 50.8mm (2.0in) dia x 6.35mm (0.250in) thick, 99.95% (metals basis)

CAS: 7439-98-7 Formule moléculaire: Mo Poids moléculaire (g/mol): 95.95 Numéro MDL: MFCD00003465 Clé InChI: ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N Synonyme: molybdenum, elemental,6+ ion,mchvl,vi ion,molybdenum, metallic,metco 63,atom,molybdenum, ion 6+,tsm1,amperit 106.2 CID PubChem: 23932 ChEBI: CHEBI:28685 Nom IUPAC: molybdenum SMILES: [Mo]

Poids moléculaire (g/mol) 95.95
Synonyme molybdenum, elemental,6+ ion,mchvl,vi ion,molybdenum, metallic,metco 63,atom,molybdenum, ion 6+,tsm1,amperit 106.2
Numéro MDL MFCD00003465
CAS 7439-98-7
CID PubChem 23932
ChEBI CHEBI:28685
Nom IUPAC molybdenum
Clé InChI ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N
SMILES [Mo]
Formule moléculaire Mo
10

Copper sputtering target, 50.8mm (2.0in) dia x 3.18mm (0.125in) thick, 99.999% (metals basis)

CAS: 7440-50-8 Formule moléculaire: Cu Poids moléculaire (g/mol): 63.55 Numéro MDL: MFCD00010965 Clé InChI: RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Synonyme: cuprum,cobre,cuivre,blister,cathode,bronze,powder,anode,precipitates,kupfer CID PubChem: 23978 ChEBI: CHEBI:30052 Nom IUPAC: copper SMILES: [Cu]

Poids moléculaire (g/mol) 63.55
Synonyme cuprum,cobre,cuivre,blister,cathode,bronze,powder,anode,precipitates,kupfer
Numéro MDL MFCD00010965
CAS 7440-50-8
CID PubChem 23978
ChEBI CHEBI:30052
Nom IUPAC copper
Clé InChI RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N
SMILES [Cu]
Formule moléculaire Cu
11

Nickel sputtering target, 76.2mm (3.0in) dia x 3.18mm (0.125in) thick, 99.99% (metals basis)

CAS: 7440-02-0 Formule moléculaire: Ni Poids moléculaire (g/mol): 58.69 Numéro MDL: MFCD00011137 MFCD06798735 Clé InChI: PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Synonyme: raney alloy,fibrex,catalyst,particles,fibrex p,nickel, elemental,nichel italian,nickel, soluble salts,carbonyl powder,niccolum CID PubChem: 935 ChEBI: CHEBI:28112 Nom IUPAC: nickel SMILES: [Ni]

Poids moléculaire (g/mol) 58.69
Synonyme raney alloy,fibrex,catalyst,particles,fibrex p,nickel, elemental,nichel italian,nickel, soluble salts,carbonyl powder,niccolum
Numéro MDL MFCD00011137 MFCD06798735
CAS 7440-02-0
CID PubChem 935
ChEBI CHEBI:28112
Nom IUPAC nickel
Clé InChI PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N
SMILES [Ni]
Formule moléculaire Ni
12

Tin sputtering target, 50.8mm (2.0in) dia x 6.35mm (0.250in) thick, 99.995% (metals basis)

CAS: 7440-31-5 Formule moléculaire: Sn Poids moléculaire (g/mol): 118.71 Numéro MDL: MFCD00133862 Clé InChI: ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N Synonyme: powder,stannum,metallic,tin, elemental,wang,zinn,flake,tin, metal,silver matt powder,zinn german CID PubChem: 5352426 ChEBI: CHEBI:32990 Nom IUPAC: tin SMILES: [Sn]

Poids moléculaire (g/mol) 118.71
Synonyme powder,stannum,metallic,tin, elemental,wang,zinn,flake,tin, metal,silver matt powder,zinn german
Numéro MDL MFCD00133862
CAS 7440-31-5
CID PubChem 5352426
ChEBI CHEBI:32990
Nom IUPAC tin
Clé InChI ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N
SMILES [Sn]
Formule moléculaire Sn
13

Chromium sputtering target, 76.2mm (3.0in) dia x 6.35mm (0.250in) thick, 99.95% (metals basis)

CAS: 7440-47-3 Formule moléculaire: Cr Poids moléculaire (g/mol): 52.00 Numéro MDL: MFCD00010944 Clé InChI: VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N Synonyme: chrom,chrome,cromo,metal,chrome french,compounds,chrom german,chromium, elemental,chromium, metal,ccris 159 CID PubChem: 23976 ChEBI: CHEBI:28073 Nom IUPAC: chromium SMILES: [Cr]

Poids moléculaire (g/mol) 52.00
Synonyme chrom,chrome,cromo,metal,chrome french,compounds,chrom german,chromium, elemental,chromium, metal,ccris 159
Numéro MDL MFCD00010944
CAS 7440-47-3
CID PubChem 23976
ChEBI CHEBI:28073
Nom IUPAC chromium
Clé InChI VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N
SMILES [Cr]
Formule moléculaire Cr
14

Tungsten sputtering target, 76.2mm (3.0in) dia x 3.18mm (0.125in) thick, 99.95% (metals basis)

CAS: 7440-33-7 Formule moléculaire: W Poids moléculaire (g/mol): 183.84 Numéro MDL: MFCD00011461 Clé InChI: WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N Synonyme: wolfram,ion,va,tungsten, elemental,wolframium,unii-v9306cxo6g,4+ ion,tungsten, soluble compounds,tungsten, insoluble compounds,powder CID PubChem: 23964 ChEBI: CHEBI:27998 Nom IUPAC: tungsten SMILES: [W]

Poids moléculaire (g/mol) 183.84
Synonyme wolfram,ion,va,tungsten, elemental,wolframium,unii-v9306cxo6g,4+ ion,tungsten, soluble compounds,tungsten, insoluble compounds,powder
Numéro MDL MFCD00011461
CAS 7440-33-7
CID PubChem 23964
ChEBI CHEBI:27998
Nom IUPAC tungsten
Clé InChI WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N
SMILES [W]
Formule moléculaire W
15

Aluminum sputtering target, 50.8mm (2.0 in.) dia. x 3.18mm (0.125 in.) thick, 99.999% (metals basis), Thermo Scientific Chemicals

CAS: 7429-90-5 Formule moléculaire: Al Poids moléculaire (g/mol): 26.98 Numéro MDL: MFCD00134029 Clé InChI: XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N Synonyme: aluminum,metal,powder,aluminio,metana,adom,alumina fibre,aluminum flake,dust,noral aluminum CID PubChem: 5359268 ChEBI: CHEBI:33629 Nom IUPAC: aluminum SMILES: [Al]

Poids moléculaire (g/mol) 26.98
Synonyme aluminum,metal,powder,aluminio,metana,adom,alumina fibre,aluminum flake,dust,noral aluminum
Numéro MDL MFCD00134029
CAS 7429-90-5
CID PubChem 5359268
ChEBI CHEBI:33629
Nom IUPAC aluminum
Clé InChI XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N
SMILES [Al]
Formule moléculaire Al