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Cibles de pulvérisation

Les cibles de pulvérisation sont des matériaux spécialisés utilisés pour le dépôt de couches minces dans diverses industries, notamment l’électronique, l’énergie et le textile. Ces cibles peuvent être composées de différents éléments ou alliages, tels que des métaux purs ou des céramiques, et sont bombardées par des ions, ce qui provoque l’éjection d’atomes ou de molécules de leur surface. Ces particules se déposent ensuite sur un substrat pour former un film mince et uniforme. Il existe différents types de cibles de projection, notamment des cibles planes ou rotatives, ainsi qu’une gamme de matériaux tels que l’or, l’argent, le titane et le tungstène. Leur sélection dépend de différents facteurs, notamment les exigences de l’application, les propriétés des matériaux et la compatibilité avec le système de projection.
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1

Cible à sputtering en cuivre, diamètre de 76,2 mm (3,0 po) x 3,18 mm (0,125 po) d’épaisseur, 99,999% (base métallique)

CAS: 7440-50-8 Formule moléculaire: Cu Poids moléculaire (g/mol): 63.55 Numéro MDL: MFCD00010965 Clé InChI: RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Synonyme: cuprum,cobre,cuivre,blister,cathode,bronze,powder,anode,precipitates,kupfer PubChem CID: 23978 ChEBI: CHEBI:30052 Nom de l’IUPAC: Cuivre SOURIRES: [Cu]

Poids moléculaire (g/mol) 63.55
PubChem CID 23978
Synonyme cuprum,cobre,cuivre,blister,cathode,bronze,powder,anode,precipitates,kupfer
Numéro MDL MFCD00010965
Nom de l’IUPAC Cuivre
CAS 7440-50-8
ChEBI CHEBI:30052
Clé InChI RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N
SOURIRES [Cu]
Formule moléculaire Cu
2

Cible à sputtering de chrome, 50,8 mm (2,0 po) de diamètre x 3,18 mm (0,125 po) d’épaisseur, 99,95% (base métallique)

CAS: 7440-47-3 Formule moléculaire: Cr Poids moléculaire (g/mol): 52.00 Numéro MDL: MFCD00010944 Clé InChI: VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N Synonyme: chrom,chrome,cromo,metal,chrome french,compounds,chrom german,chromium, elemental,chromium, metal,ccris 159 PubChem CID: 23976 ChEBI: CHEBI:28073 Nom de l’IUPAC: Chrome SOURIRES: [Cr]

Poids moléculaire (g/mol) 52.00
PubChem CID 23976
Synonyme chrom,chrome,cromo,metal,chrome french,compounds,chrom german,chromium, elemental,chromium, metal,ccris 159
Numéro MDL MFCD00010944
Nom de l’IUPAC Chrome
CAS 7440-47-3
ChEBI CHEBI:28073
Clé InChI VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N
SOURIRES [Cr]
Formule moléculaire Cr
3

Cible à sputtering de molybdène, diamètre 50,8 mm (2,0 po) x 3,18 mm (0,125 po) d’épaisseur, 99,95% (base métallique)

CAS: 7439-98-7 Formule moléculaire: Mo Poids moléculaire (g/mol): 95.95 Numéro MDL: MFCD00003465 Clé InChI: ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N Synonyme: molybdenum, elemental,6+ ion,mchvl,vi ion,molybdenum, metallic,metco 63,atom,molybdenum, ion 6+,tsm1,amperit 106.2 PubChem CID: 23932 ChEBI: CHEBI:28685 Nom de l’IUPAC: Molybdène SOURIRES: [Mo]

Poids moléculaire (g/mol) 95.95
PubChem CID 23932
Synonyme molybdenum, elemental,6+ ion,mchvl,vi ion,molybdenum, metallic,metco 63,atom,molybdenum, ion 6+,tsm1,amperit 106.2
Numéro MDL MFCD00003465
Nom de l’IUPAC Molybdène
CAS 7439-98-7
ChEBI CHEBI:28685
Clé InChI ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N
SOURIRES [Mo]
Formule moléculaire Mo
4

Cible à éclaboussure de nickel, diamètre de 50,8 mm (2,0 po) x 6,35 mm (0,250 po) d’épaisseur, 99,99% (base métallique)

CAS: 7440-02-0 Formule moléculaire: Ni Poids moléculaire (g/mol): 58.69 Numéro MDL: MFCD00011137 MFCD06798735 Clé InChI: PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Synonyme: raney alloy,fibrex,catalyst,particles,fibrex p,nickel, elemental,nichel italian,nickel, soluble salts,carbonyl powder,niccolum PubChem CID: 935 ChEBI: CHEBI:28112 Nom de l’IUPAC: nickel SOURIRES: [Ni]

Poids moléculaire (g/mol) 58.69
PubChem CID 935
Synonyme raney alloy,fibrex,catalyst,particles,fibrex p,nickel, elemental,nichel italian,nickel, soluble salts,carbonyl powder,niccolum
Numéro MDL MFCD00011137 MFCD06798735
Nom de l’IUPAC nickel
CAS 7440-02-0
ChEBI CHEBI:28112
Clé InChI PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N
SOURIRES [Ni]
Formule moléculaire Ni
5

Cible à sputtering en titane, 50,8 mm (2,0 po) de diamètre x 6,35 mm (0,250 po) d’épaisseur, 99,7% (base métallique)

CAS: 7440-32-6 Formule moléculaire: Ti Poids moléculaire (g/mol): 47.87 Numéro MDL: MFCD00011264,MFCD00151301 Clé InChI: RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Synonyme: oremet,alloy,cp,vt1,c.p.,contimet 30,jistp28,titanium-125,ii hydride,titan vt 1-1 PubChem CID: 23963 ChEBI: CHEBI:33341 Nom de l’IUPAC: Titane SOURIRES: [Ti]

Poids moléculaire (g/mol) 47.87
PubChem CID 23963
Synonyme oremet,alloy,cp,vt1,c.p.,contimet 30,jistp28,titanium-125,ii hydride,titan vt 1-1
Numéro MDL MFCD00011264,MFCD00151301
Nom de l’IUPAC Titane
CAS 7440-32-6
ChEBI CHEBI:33341
Clé InChI RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N
SOURIRES [Ti]
Formule moléculaire Ti
6
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Cible de pulvérisation d’oxyde de silicium(II), diamètre 50,8 mm (2,0 po) x 6,35 mm (0,250 po) d’épaisseur, 99,9% (base métallique)

CAS: 10097-28-6 Formule moléculaire: OSi Poids moléculaire (g/mol): 44.084 Numéro MDL: MFCD00151536 Clé InChI: LIVNPJMFVYWSIS-UHFFFAOYSA-N Synonyme: silicon monoxide,silylene, oxo,silicon ii oxide,unii-1oqn9cbg7l,1oqn9cbg7l,silicon ii oxide, optical grade,sio,oxidosilicon,oxosilanylidene,oxosilylene PubChem CID: 66241 ChEBI: CHEBI:30588 Nom de l’IUPAC: Oxoniumylidynésilanide SOURIRES: [O+]#[Si-]

Poids moléculaire (g/mol) 44.084
PubChem CID 66241
Synonyme silicon monoxide,silylene, oxo,silicon ii oxide,unii-1oqn9cbg7l,1oqn9cbg7l,silicon ii oxide, optical grade,sio,oxidosilicon,oxosilanylidene,oxosilylene
Numéro MDL MFCD00151536
Nom de l’IUPAC Oxoniumylidynésilanide
CAS 10097-28-6
ChEBI CHEBI:30588
Clé InChI LIVNPJMFVYWSIS-UHFFFAOYSA-N
SOURIRES [O+]#[Si-]
Formule moléculaire OSi
7

Cible à sputtering en cuivre, 50,8 mm (2,0 po) de diamètre x 6,35 mm (0,250 po) d’épaisseur, 99,999% (base métallique)

CAS: 7440-50-8 Formule moléculaire: Cu Poids moléculaire (g/mol): 63.55 Numéro MDL: MFCD00010965 Clé InChI: RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Synonyme: cuprum,cobre,cuivre,blister,cathode,bronze,powder,anode,precipitates,kupfer PubChem CID: 23978 ChEBI: CHEBI:30052 Nom de l’IUPAC: Cuivre SOURIRES: [Cu]

Poids moléculaire (g/mol) 63.55
PubChem CID 23978
Synonyme cuprum,cobre,cuivre,blister,cathode,bronze,powder,anode,precipitates,kupfer
Numéro MDL MFCD00010965
Nom de l’IUPAC Cuivre
CAS 7440-50-8
ChEBI CHEBI:30052
Clé InChI RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N
SOURIRES [Cu]
Formule moléculaire Cu
8

Cible sputtering de molybdène, diamètre de 76,2 mm (3,0 po) x 6,35 mm (0,250 po) d’épaisseur, 99,95% (base métallique)

CAS: 7439-98-7 Formule moléculaire: Mo Poids moléculaire (g/mol): 95.95 Numéro MDL: MFCD00003465 Clé InChI: ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N Synonyme: molybdenum, elemental,6+ ion,mchvl,vi ion,molybdenum, metallic,metco 63,atom,molybdenum, ion 6+,tsm1,amperit 106.2 PubChem CID: 23932 ChEBI: CHEBI:28685 Nom de l’IUPAC: Molybdène SOURIRES: [Mo]

Poids moléculaire (g/mol) 95.95
PubChem CID 23932
Synonyme molybdenum, elemental,6+ ion,mchvl,vi ion,molybdenum, metallic,metco 63,atom,molybdenum, ion 6+,tsm1,amperit 106.2
Numéro MDL MFCD00003465
Nom de l’IUPAC Molybdène
CAS 7439-98-7
ChEBI CHEBI:28685
Clé InChI ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N
SOURIRES [Mo]
Formule moléculaire Mo
9

Cible à éclaboussures en aluminium, 50,8 mm (2,0 po) de diamètre x 6,35 mm (0,250 po) d’épaisseur, 99,999% (base métallique)

CAS: 7429-90-5 Formule moléculaire: Al Poids moléculaire (g/mol): 26.98 Numéro MDL: MFCD00134029 Clé InChI: XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N Synonyme: aluminum,metal,powder,aluminio,metana,adom,alumina fibre,aluminum flake,dust,noral aluminum PubChem CID: 5359268 ChEBI: CHEBI:33629 Nom de l’IUPAC: Aluminium SOURIRES: [Al]

Poids moléculaire (g/mol) 26.98
PubChem CID 5359268
Synonyme aluminum,metal,powder,aluminio,metana,adom,alumina fibre,aluminum flake,dust,noral aluminum
Numéro MDL MFCD00134029
Nom de l’IUPAC Aluminium
CAS 7429-90-5
ChEBI CHEBI:33629
Clé InChI XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N
SOURIRES [Al]
Formule moléculaire Al
10

Cible à sputtering en cuivre, diamètre de 50,8 mm (2,0 po) x 3,18 mm (0,125 po) d’épaisseur, 99,995% (base métallique)

CAS: 7440-50-8 Formule moléculaire: Cu Poids moléculaire (g/mol): 63.55 Numéro MDL: MFCD00010965 Clé InChI: RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Synonyme: cuprum,cobre,cuivre,blister,cathode,bronze,powder,anode,precipitates,kupfer PubChem CID: 23978 ChEBI: CHEBI:30052 Nom de l’IUPAC: Cuivre SOURIRES: [Cu]

Poids moléculaire (g/mol) 63.55
PubChem CID 23978
Synonyme cuprum,cobre,cuivre,blister,cathode,bronze,powder,anode,precipitates,kupfer
Numéro MDL MFCD00010965
Nom de l’IUPAC Cuivre
CAS 7440-50-8
ChEBI CHEBI:30052
Clé InChI RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N
SOURIRES [Cu]
Formule moléculaire Cu
11

Cible sputtering en cérium, 76,2 mm de diamètre x 3,18 mm d’épaisseur

CAS: 7440-45-1 Formule moléculaire: Ce Poids moléculaire (g/mol): 140.12 Numéro MDL: MFCD00010924 Clé InChI: GWXLDORMOJMVQZ-UHFFFAOYSA-N Synonyme: cerio,ingot,cerium, chips,foil, 3n,zer,ceramics-aeium,acmc-1bl5r,chips, 3n reo,powder,-200 mesh,cerium PubChem CID: 23974 ChEBI: CHEBI:33369 Nom de l’IUPAC: Cerium SOURIRES: [Ce]

Poids moléculaire (g/mol) 140.12
PubChem CID 23974
Synonyme cerio,ingot,cerium, chips,foil, 3n,zer,ceramics-aeium,acmc-1bl5r,chips, 3n reo,powder,-200 mesh,cerium
Numéro MDL MFCD00010924
Nom de l’IUPAC Cerium
CAS 7440-45-1
ChEBI CHEBI:33369
Clé InChI GWXLDORMOJMVQZ-UHFFFAOYSA-N
SOURIRES [Ce]
Formule moléculaire Ce
12

Cible à sputtering en argent, diamètre de 50,8 mm (2,0 po) x 3,18 mm (0,125 po) d’épaisseur, 99,99% (base métallique)

CAS: 7440-22-4 Formule moléculaire: Ag Poids moléculaire (g/mol): 107.87 Numéro MDL: MFCD00003397 Clé InChI: BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Synonyme: argentum,metal,atom,colloidal,silver, colloidal,silver, elemental,algaedyn,amalgum,epinall,silber PubChem CID: 23954 ChEBI: CHEBI:9141 Nom de l’IUPAC: argent SOURIRES: [Ag]

Poids moléculaire (g/mol) 107.87
PubChem CID 23954
Synonyme argentum,metal,atom,colloidal,silver, colloidal,silver, elemental,algaedyn,amalgum,epinall,silber
Numéro MDL MFCD00003397
Nom de l’IUPAC argent
CAS 7440-22-4
ChEBI CHEBI:9141
Clé InChI BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N
SOURIRES [Ag]
Formule moléculaire Ag
13

Objectif à sputtering argenté, diamètre de 76,2 mm (3,0 po) x 3,18 mm (0,125 po) d’épaisseur, 99,99% (base métallique)

CAS: 7440-22-4 Formule moléculaire: Ag Poids moléculaire (g/mol): 107.87 Numéro MDL: MFCD00003397 Clé InChI: BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Synonyme: argentum,metal,atom,colloidal,silver, colloidal,silver, elemental,algaedyn,amalgum,epinall,silber PubChem CID: 23954 ChEBI: CHEBI:9141 Nom de l’IUPAC: argent SOURIRES: [Ag]

Poids moléculaire (g/mol) 107.87
PubChem CID 23954
Synonyme argentum,metal,atom,colloidal,silver, colloidal,silver, elemental,algaedyn,amalgum,epinall,silber
Numéro MDL MFCD00003397
Nom de l’IUPAC argent
CAS 7440-22-4
ChEBI CHEBI:9141
Clé InChI BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N
SOURIRES [Ag]
Formule moléculaire Ag
14

Cible à sputtering en silicium, 50,8 mm (2,0 po) de diamètre x 3,18 mm (0,125 po) d’épaisseur, 99,999% (base métallique)

CAS: 7440-21-3 Formule moléculaire: Si Poids moléculaire (g/mol): 28.09 Numéro MDL: MFCD00085311 Clé InChI: XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Synonyme: metal,silicone,defoamer s-10,flots 100sco,powder,dust,unii-z4152n8iui,polyeristalline powder,ccris 6599,ccris 6831 PubChem CID: 5461123 ChEBI: CHEBI:27573 Nom de l’IUPAC: Silicium SOURIRES: [Si]

Poids moléculaire (g/mol) 28.09
PubChem CID 5461123
Synonyme metal,silicone,defoamer s-10,flots 100sco,powder,dust,unii-z4152n8iui,polyeristalline powder,ccris 6599,ccris 6831
Numéro MDL MFCD00085311
Nom de l’IUPAC Silicium
CAS 7440-21-3
ChEBI CHEBI:27573
Clé InChI XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N
SOURIRES [Si]
Formule moléculaire Si
15

Cible à sputtering en niobium, 50,8 mm (2,0 po) de diamètre x 3,18 mm (0,125 po) d’épaisseur, 99,95% (base métallique excluant le Ta)

CAS: 3-1-7440 Formule moléculaire: Nb Poids moléculaire (g/mol): 92.91 Numéro MDL: MFCD00011126 Clé InChI: GUCVJGMIXFAOAE-UHFFFAOYSA-N Synonyme: columbium,element,niobium-93,powder,foil,rod,vn 1,foil, 0.25mm 0.01in thick,columbio,niobio PubChem CID: 23936 ChEBI: CHEBI:33344 Nom de l’IUPAC: Niobium SOURIRES: [Nb]

Poids moléculaire (g/mol) 92.91
PubChem CID 23936
Synonyme columbium,element,niobium-93,powder,foil,rod,vn 1,foil, 0.25mm 0.01in thick,columbio,niobio
Numéro MDL MFCD00011126
Nom de l’IUPAC Niobium
CAS 3-1-7440
ChEBI CHEBI:33344
Clé InChI GUCVJGMIXFAOAE-UHFFFAOYSA-N
SOURIRES [Nb]
Formule moléculaire Nb