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Cibles de pulvérisation

Les cibles de pulvérisation sont des matériaux spécialisés utilisés pour le dépôt de couches minces dans diverses industries, notamment l’électronique, l’énergie et le textile. Ces cibles peuvent être composées de différents éléments ou alliages, tels que des métaux purs ou des céramiques, et sont bombardées par des ions, ce qui provoque l’éjection d’atomes ou de molécules de leur surface. Ces particules se déposent ensuite sur un substrat pour former un film mince et uniforme. Il existe différents types de cibles de projection, notamment des cibles planes ou rotatives, ainsi qu’une gamme de matériaux tels que l’or, l’argent, le titane et le tungstène. Leur sélection dépend de différents facteurs, notamment les exigences de l’application, les propriétés des matériaux et la compatibilité avec le système de projection.
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1

Cible à sputtering en zinc, diamètre 50,8 mm (2,0 po) x 3,18 mm (0,125 po) d’épaisseur, 99,99% (base métallique)

CAS: 7440-66-6 Formule moléculaire: Zn Poids moléculaire (g/mol): 65.38 Numéro MDL: MFCD00011291 Clé InChI: HCHKCACWOHOZIP-UHFFFAOYSA-N Synonyme: dust,cinc,powder,merrillite,rheinzink,jasad,blue powder,granular,zinc, elemental,emanay dust PubChem CID: 23994 ChEBI: CHEBI:30185 Nom de l’IUPAC: Zinc SOURIRES: [Zn]

Poids moléculaire (g/mol) 65.38
PubChem CID 23994
Synonyme dust,cinc,powder,merrillite,rheinzink,jasad,blue powder,granular,zinc, elemental,emanay dust
Numéro MDL MFCD00011291
Nom de l’IUPAC Zinc
CAS 7440-66-6
ChEBI CHEBI:30185
Clé InChI HCHKCACWOHOZIP-UHFFFAOYSA-N
SOURIRES [Zn]
Formule moléculaire Zn
2

Cible à sputtering en titane, 50,8 mm (2,0 po) de diamètre x 3,18 mm (0,125 po) d’épaisseur, 99,7% (base métallique)

CAS: 7440-32-6 Formule moléculaire: Ti Poids moléculaire (g/mol): 47.87 Numéro MDL: MFCD00011264,MFCD00151301 Clé InChI: RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Synonyme: oremet,alloy,cp,vt1,c.p.,contimet 30,jistp28,titanium-125,ii hydride,titan vt 1-1 PubChem CID: 23963 ChEBI: CHEBI:33341 Nom de l’IUPAC: Titane SOURIRES: [Ti]

Poids moléculaire (g/mol) 47.87
PubChem CID 23963
Synonyme oremet,alloy,cp,vt1,c.p.,contimet 30,jistp28,titanium-125,ii hydride,titan vt 1-1
Numéro MDL MFCD00011264,MFCD00151301
Nom de l’IUPAC Titane
CAS 7440-32-6
ChEBI CHEBI:33341
Clé InChI RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N
SOURIRES [Ti]
Formule moléculaire Ti
3

Cible à sputtering en nitrure de titane, 50,8 mm (2,0 po) de diamètre x 6,35 mm (0,250 po) d’épaisseur, 99,5% (base métallique)

CAS: 25583-20-4 Formule moléculaire: NTi Poids moléculaire (g/mol): 61.87 Numéro MDL: MFCD00049596 Clé InChI: NRTOMJZYCJJWKI-UHFFFAOYSA-N Synonyme: titanium nitride,titanium nitride tin,nitridotitanium,unii-6rw464feff,titannitrid,titaniumylidyneamine,titanium mononitride,titanium nitride, <3 mum,6rw464feff,titanium nitride tin grade a PubChem CID: 93091 Nom de l’IUPAC: azanylidynetitanium SOURIRES: N#[Ti]

Poids moléculaire (g/mol) 61.87
PubChem CID 93091
Synonyme titanium nitride,titanium nitride tin,nitridotitanium,unii-6rw464feff,titannitrid,titaniumylidyneamine,titanium mononitride,titanium nitride, <3 mum,6rw464feff,titanium nitride tin grade a
Numéro MDL MFCD00049596
Nom de l’IUPAC azanylidynetitanium
CAS 25583-20-4
Clé InChI NRTOMJZYCJJWKI-UHFFFAOYSA-N
SOURIRES N#[Ti]
Formule moléculaire NTi
4

Cible à sputtering en molybdène, diamètre de 76,2 mm (3,0 po) x 3,18 mm (0,125 po) d’épaisseur, 99,95% (base métallique)

CAS: 7439-98-7 Formule moléculaire: Mo Poids moléculaire (g/mol): 95.95 Numéro MDL: MFCD00003465 Clé InChI: ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N Synonyme: molybdenum, elemental,6+ ion,mchvl,vi ion,molybdenum, metallic,metco 63,atom,molybdenum, ion 6+,tsm1,amperit 106.2 PubChem CID: 23932 ChEBI: CHEBI:28685 Nom de l’IUPAC: Molybdène SOURIRES: [Mo]

Poids moléculaire (g/mol) 95.95
PubChem CID 23932
Synonyme molybdenum, elemental,6+ ion,mchvl,vi ion,molybdenum, metallic,metco 63,atom,molybdenum, ion 6+,tsm1,amperit 106.2
Numéro MDL MFCD00003465
Nom de l’IUPAC Molybdène
CAS 7439-98-7
ChEBI CHEBI:28685
Clé InChI ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N
SOURIRES [Mo]
Formule moléculaire Mo
5

Cible à pulvérisation en tungstène, diamètre de 50,8 mm (2,0 po) x 3,18 mm (0,125 po) d’épaisseur, 99,95% (base métallique)

CAS: 7440-33-7 Formule moléculaire: W Poids moléculaire (g/mol): 183.84 Numéro MDL: MFCD00011461 Clé InChI: WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N Synonyme: wolfram,ion,va,tungsten, elemental,wolframium,unii-v9306cxo6g,4+ ion,tungsten, soluble compounds,tungsten, insoluble compounds,powder PubChem CID: 23964 ChEBI: CHEBI:27998 Nom de l’IUPAC: Tungstène SOURIRES: [W]

Poids moléculaire (g/mol) 183.84
PubChem CID 23964
Synonyme wolfram,ion,va,tungsten, elemental,wolframium,unii-v9306cxo6g,4+ ion,tungsten, soluble compounds,tungsten, insoluble compounds,powder
Numéro MDL MFCD00011461
Nom de l’IUPAC Tungstène
CAS 7440-33-7
ChEBI CHEBI:27998
Clé InChI WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N
SOURIRES [W]
Formule moléculaire W
6

Cible à pulvérisation en tungstène, diamètre de 76,2 mm (3,0 po) x 6,35 mm (0,250 po) d’épaisseur, 99,95% (base métallique)

CAS: 7440-33-7 Formule moléculaire: W Poids moléculaire (g/mol): 183.84 Numéro MDL: MFCD00011461 Clé InChI: WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N Synonyme: wolfram,ion,va,tungsten, elemental,wolframium,unii-v9306cxo6g,4+ ion,tungsten, soluble compounds,tungsten, insoluble compounds,powder PubChem CID: 23964 ChEBI: CHEBI:27998 Nom de l’IUPAC: Tungstène SOURIRES: [W]

Poids moléculaire (g/mol) 183.84
PubChem CID 23964
Synonyme wolfram,ion,va,tungsten, elemental,wolframium,unii-v9306cxo6g,4+ ion,tungsten, soluble compounds,tungsten, insoluble compounds,powder
Numéro MDL MFCD00011461
Nom de l’IUPAC Tungstène
CAS 7440-33-7
ChEBI CHEBI:27998
Clé InChI WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N
SOURIRES [W]
Formule moléculaire W
7

Cible à sputtering en cuivre, diamètre de 50,8 mm (2,0 po) x 3,18 mm (0,125 po) d’épaisseur, 99,995% (base métallique)

CAS: 7440-50-8 Formule moléculaire: Cu Poids moléculaire (g/mol): 63.55 Numéro MDL: MFCD00010965 Clé InChI: RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Synonyme: cuprum,cobre,cuivre,blister,cathode,bronze,powder,anode,precipitates,kupfer PubChem CID: 23978 ChEBI: CHEBI:30052 Nom de l’IUPAC: Cuivre SOURIRES: [Cu]

Poids moléculaire (g/mol) 63.55
PubChem CID 23978
Synonyme cuprum,cobre,cuivre,blister,cathode,bronze,powder,anode,precipitates,kupfer
Numéro MDL MFCD00010965
Nom de l’IUPAC Cuivre
CAS 7440-50-8
ChEBI CHEBI:30052
Clé InChI RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N
SOURIRES [Cu]
Formule moléculaire Cu
8

Cible en titane sputtering, diamètre de 76,2 mm (3,0 po) x 6,35 mm (0,250 po) d’épaisseur, 99,995% (base métallique)

CAS: 7440-32-6 Formule moléculaire: Ti Poids moléculaire (g/mol): 47.87 Numéro MDL: MFCD00011264,MFCD00151301 Clé InChI: RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Synonyme: oremet,alloy,cp,vt1,c.p.,contimet 30,jistp28,titanium-125,ii hydride,titan vt 1-1 PubChem CID: 23963 ChEBI: CHEBI:33341 Nom de l’IUPAC: Titane SOURIRES: [Ti]

Poids moléculaire (g/mol) 47.87
PubChem CID 23963
Synonyme oremet,alloy,cp,vt1,c.p.,contimet 30,jistp28,titanium-125,ii hydride,titan vt 1-1
Numéro MDL MFCD00011264,MFCD00151301
Nom de l’IUPAC Titane
CAS 7440-32-6
ChEBI CHEBI:33341
Clé InChI RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N
SOURIRES [Ti]
Formule moléculaire Ti
9

Cible à sputtering d’ytterbium, 50,8 mm de diamètre x 1,59 mm d’épaisseur

CAS: 7440-64-4 Formule moléculaire: Yb Poids moléculaire (g/mol): 173.05 Numéro MDL: MFCD00011286 Clé InChI: NAWDYIZEMPQZHO-UHFFFAOYSA-N Synonyme: unii-mnq4o4wsi1,hydride,mnq4o4wsi1,foil, 3n,yterbio,ingot,powder,ii ion,chips, 3n,ingot, 3n PubChem CID: 23992 ChEBI: CHEBI:33381 Nom de l’IUPAC: yterbium SOURIRES: [Yb]

Poids moléculaire (g/mol) 173.05
PubChem CID 23992
Synonyme unii-mnq4o4wsi1,hydride,mnq4o4wsi1,foil, 3n,yterbio,ingot,powder,ii ion,chips, 3n,ingot, 3n
Numéro MDL MFCD00011286
Nom de l’IUPAC yterbium
CAS 7440-64-4
ChEBI CHEBI:33381
Clé InChI NAWDYIZEMPQZHO-UHFFFAOYSA-N
SOURIRES [Yb]
Formule moléculaire Yb
10

Cible à sputtering de gadolinium, 50,8 mm de diamètre x 3,18 mm d’épaisseur

CAS: 7440-54-2 Formule moléculaire: Gd Poids moléculaire (g/mol): 157.25 Numéro MDL: MFCD00011022 Clé InChI: UIWYJDYFSGRHKR-UHFFFAOYSA-N Synonyme: atom,gadolinio,unii-au0v1lm3jt,trihydride,au0v1lm3jt,foil, 3n,gadolinium, elemental,ingot,gadolinium, chips,compounds PubChem CID: 23982 ChEBI: CHEBI:33375 Nom de l’IUPAC: Gadolinium SOURIRES: [Gd]

Poids moléculaire (g/mol) 157.25
PubChem CID 23982
Synonyme atom,gadolinio,unii-au0v1lm3jt,trihydride,au0v1lm3jt,foil, 3n,gadolinium, elemental,ingot,gadolinium, chips,compounds
Numéro MDL MFCD00011022
Nom de l’IUPAC Gadolinium
CAS 7440-54-2
ChEBI CHEBI:33375
Clé InChI UIWYJDYFSGRHKR-UHFFFAOYSA-N
SOURIRES [Gd]
Formule moléculaire Gd
11

Cible sputtering en cérium, 76,2 mm de diamètre x 3,18 mm d’épaisseur

CAS: 7440-45-1 Formule moléculaire: Ce Poids moléculaire (g/mol): 140.12 Numéro MDL: MFCD00010924 Clé InChI: GWXLDORMOJMVQZ-UHFFFAOYSA-N Synonyme: cerio,ingot,cerium, chips,foil, 3n,zer,ceramics-aeium,acmc-1bl5r,chips, 3n reo,powder,-200 mesh,cerium PubChem CID: 23974 ChEBI: CHEBI:33369 Nom de l’IUPAC: Cerium SOURIRES: [Ce]

Poids moléculaire (g/mol) 140.12
PubChem CID 23974
Synonyme cerio,ingot,cerium, chips,foil, 3n,zer,ceramics-aeium,acmc-1bl5r,chips, 3n reo,powder,-200 mesh,cerium
Numéro MDL MFCD00010924
Nom de l’IUPAC Cerium
CAS 7440-45-1
ChEBI CHEBI:33369
Clé InChI GWXLDORMOJMVQZ-UHFFFAOYSA-N
SOURIRES [Ce]
Formule moléculaire Ce
12

Cible à sputtering en argent, diamètre de 50,8 mm (2,0 po) x 3,18 mm (0,125 po) d’épaisseur, 99,99% (base métallique)

CAS: 7440-22-4 Formule moléculaire: Ag Poids moléculaire (g/mol): 107.87 Numéro MDL: MFCD00003397 Clé InChI: BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Synonyme: argentum,metal,atom,colloidal,silver, colloidal,silver, elemental,algaedyn,amalgum,epinall,silber PubChem CID: 23954 ChEBI: CHEBI:9141 Nom de l’IUPAC: argent SOURIRES: [Ag]

Poids moléculaire (g/mol) 107.87
PubChem CID 23954
Synonyme argentum,metal,atom,colloidal,silver, colloidal,silver, elemental,algaedyn,amalgum,epinall,silber
Numéro MDL MFCD00003397
Nom de l’IUPAC argent
CAS 7440-22-4
ChEBI CHEBI:9141
Clé InChI BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N
SOURIRES [Ag]
Formule moléculaire Ag
13

Objectif à sputtering argenté, diamètre de 76,2 mm (3,0 po) x 3,18 mm (0,125 po) d’épaisseur, 99,99% (base métallique)

CAS: 7440-22-4 Formule moléculaire: Ag Poids moléculaire (g/mol): 107.87 Numéro MDL: MFCD00003397 Clé InChI: BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Synonyme: argentum,metal,atom,colloidal,silver, colloidal,silver, elemental,algaedyn,amalgum,epinall,silber PubChem CID: 23954 ChEBI: CHEBI:9141 Nom de l’IUPAC: argent SOURIRES: [Ag]

Poids moléculaire (g/mol) 107.87
PubChem CID 23954
Synonyme argentum,metal,atom,colloidal,silver, colloidal,silver, elemental,algaedyn,amalgum,epinall,silber
Numéro MDL MFCD00003397
Nom de l’IUPAC argent
CAS 7440-22-4
ChEBI CHEBI:9141
Clé InChI BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N
SOURIRES [Ag]
Formule moléculaire Ag
14

Cible à sputtering en silicium, 50,8 mm (2,0 po) de diamètre x 3,18 mm (0,125 po) d’épaisseur, 99,999% (base métallique)

CAS: 7440-21-3 Formule moléculaire: Si Poids moléculaire (g/mol): 28.09 Numéro MDL: MFCD00085311 Clé InChI: XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Synonyme: metal,silicone,defoamer s-10,flots 100sco,powder,dust,unii-z4152n8iui,polyeristalline powder,ccris 6599,ccris 6831 PubChem CID: 5461123 ChEBI: CHEBI:27573 Nom de l’IUPAC: Silicium SOURIRES: [Si]

Poids moléculaire (g/mol) 28.09
PubChem CID 5461123
Synonyme metal,silicone,defoamer s-10,flots 100sco,powder,dust,unii-z4152n8iui,polyeristalline powder,ccris 6599,ccris 6831
Numéro MDL MFCD00085311
Nom de l’IUPAC Silicium
CAS 7440-21-3
ChEBI CHEBI:27573
Clé InChI XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N
SOURIRES [Si]
Formule moléculaire Si
15

Cible à sputtering en niobium, 50,8 mm (2,0 po) de diamètre x 3,18 mm (0,125 po) d’épaisseur, 99,95% (base métallique excluant le Ta)

CAS: 3-1-7440 Formule moléculaire: Nb Poids moléculaire (g/mol): 92.91 Numéro MDL: MFCD00011126 Clé InChI: GUCVJGMIXFAOAE-UHFFFAOYSA-N Synonyme: columbium,element,niobium-93,powder,foil,rod,vn 1,foil, 0.25mm 0.01in thick,columbio,niobio PubChem CID: 23936 ChEBI: CHEBI:33344 Nom de l’IUPAC: Niobium SOURIRES: [Nb]

Poids moléculaire (g/mol) 92.91
PubChem CID 23936
Synonyme columbium,element,niobium-93,powder,foil,rod,vn 1,foil, 0.25mm 0.01in thick,columbio,niobio
Numéro MDL MFCD00011126
Nom de l’IUPAC Niobium
CAS 3-1-7440
ChEBI CHEBI:33344
Clé InChI GUCVJGMIXFAOAE-UHFFFAOYSA-N
SOURIRES [Nb]
Formule moléculaire Nb