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Cibles de pulvérisation

Les cibles de pulvérisation sont des matériaux spécialisés utilisés pour le dépôt de couches minces dans diverses industries, notamment l’électronique, l’énergie et le textile. Ces cibles peuvent être composées de différents éléments ou alliages, tels que des métaux purs ou des céramiques, et sont bombardées par des ions, ce qui provoque l’éjection d’atomes ou de molécules de leur surface. Ces particules se déposent ensuite sur un substrat pour former un film mince et uniforme. Il existe différents types de cibles de projection, notamment des cibles planes ou rotatives, ainsi qu’une gamme de matériaux tels que l’or, l’argent, le titane et le tungstène. Leur sélection dépend de différents facteurs, notamment les exigences de l’application, les propriétés des matériaux et la compatibilité avec le système de projection.
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1

Cible à sputtering de gadolinium, 50,8 mm de diamètre x 3,18 mm d’épaisseur

CAS: 7440-54-2 Formule moléculaire: Gd Poids moléculaire (g/mol): 157.25 Numéro MDL: MFCD00011022 Clé InChI: UIWYJDYFSGRHKR-UHFFFAOYSA-N Synonyme: atom,gadolinio,unii-au0v1lm3jt,trihydride,au0v1lm3jt,foil, 3n,gadolinium, elemental,ingot,gadolinium, chips,compounds PubChem CID: 23982 ChEBI: CHEBI:33375 Nom de l’IUPAC: Gadolinium SOURIRES: [Gd]

Poids moléculaire (g/mol) 157.25
PubChem CID 23982
Synonyme atom,gadolinio,unii-au0v1lm3jt,trihydride,au0v1lm3jt,foil, 3n,gadolinium, elemental,ingot,gadolinium, chips,compounds
Numéro MDL MFCD00011022
Nom de l’IUPAC Gadolinium
CAS 7440-54-2
ChEBI CHEBI:33375
Clé InChI UIWYJDYFSGRHKR-UHFFFAOYSA-N
SOURIRES [Gd]
Formule moléculaire Gd
2

Cible en aluminium à éclaboussures, 76,2 mm (3,0 po) dia. x 3,18 mm (0,125 po) épais, 99,999% (base des métaux), Thermo Scientific Chemicals

CAS: 7429-90-5 Formule moléculaire: Al Poids moléculaire (g/mol): 26.98 Numéro MDL: MFCD00134029 Clé InChI: XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N Synonyme: aluminum,metal,powder,aluminio,metana,adom,alumina fibre,aluminum flake,dust,noral aluminum PubChem CID: 5359268 ChEBI: CHEBI:33629 Nom de l’IUPAC: Aluminium SOURIRES: [Al]

Poids moléculaire (g/mol) 26.98
PubChem CID 5359268
Synonyme aluminum,metal,powder,aluminio,metana,adom,alumina fibre,aluminum flake,dust,noral aluminum
Numéro MDL MFCD00134029
Nom de l’IUPAC Aluminium
CAS 7429-90-5
ChEBI CHEBI:33629
Clé InChI XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N
SOURIRES [Al]
Formule moléculaire Al
3

Cible à pulvérisation au cobalt, diamètre 50,8 mm (2,0 po) x 6,35 mm (0,250 po) d’épaisseur, 99,95% (base métallique)

CAS: 7440-48-4 Formule moléculaire: Co Poids moléculaire (g/mol): 58.93 Numéro MDL: MFCD00010935 Clé InChI: GUTLYIVDDKVIGB-UHFFFAOYSA-N Synonyme: kobalt,cobalto,moncation,co1+,cobaltum,powder,cobalt, ion co1+,hydrido,atom,hydride PubChem CID: 104730 ChEBI: CHEBI:27638 Nom de l’IUPAC: cobalt SOURIRES: [Co]

Poids moléculaire (g/mol) 58.93
PubChem CID 104730
Synonyme kobalt,cobalto,moncation,co1+,cobaltum,powder,cobalt, ion co1+,hydrido,atom,hydride
Numéro MDL MFCD00010935
Nom de l’IUPAC cobalt
CAS 7440-48-4
ChEBI CHEBI:27638
Clé InChI GUTLYIVDDKVIGB-UHFFFAOYSA-N
SOURIRES [Co]
Formule moléculaire Co
4

Cible à sputtering en nitrure de titane, 50,8 mm (2,0 po) de diamètre x 6,35 mm (0,250 po) d’épaisseur, 99,5% (base métallique)

CAS: 25583-20-4 Formule moléculaire: NTi Poids moléculaire (g/mol): 61.87 Numéro MDL: MFCD00049596 Clé InChI: NRTOMJZYCJJWKI-UHFFFAOYSA-N Synonyme: titanium nitride,titanium nitride tin,nitridotitanium,unii-6rw464feff,titannitrid,titaniumylidyneamine,titanium mononitride,titanium nitride, <3 mum,6rw464feff,titanium nitride tin grade a PubChem CID: 93091 Nom de l’IUPAC: azanylidynetitanium SOURIRES: N#[Ti]

Poids moléculaire (g/mol) 61.87
PubChem CID 93091
Synonyme titanium nitride,titanium nitride tin,nitridotitanium,unii-6rw464feff,titannitrid,titaniumylidyneamine,titanium mononitride,titanium nitride, <3 mum,6rw464feff,titanium nitride tin grade a
Numéro MDL MFCD00049596
Nom de l’IUPAC azanylidynetitanium
CAS 25583-20-4
Clé InChI NRTOMJZYCJJWKI-UHFFFAOYSA-N
SOURIRES N#[Ti]
Formule moléculaire NTi
5

Cible à éclaboussures de fer, diamètre de 50,8 mm (2,0 po) x 3,18 mm (0,125 po) d’épaisseur, 99,95% (base métallique)

CAS: 7439-89-6 Formule moléculaire: Fe Poids moléculaire (g/mol): 55.85 Numéro MDL: MFCD00010999 Clé InChI: XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N Synonyme: ferrum,iron, elemental,ferrous,remko,armco,ferrovac,hoeganaes eh,3zhp,ancor b,atomiron 5m PubChem CID: 23925 ChEBI: CHEBI:82664 Nom de l’IUPAC: Fer SOURIRES: [Fe]

Poids moléculaire (g/mol) 55.85
PubChem CID 23925
Synonyme ferrum,iron, elemental,ferrous,remko,armco,ferrovac,hoeganaes eh,3zhp,ancor b,atomiron 5m
Numéro MDL MFCD00010999
Nom de l’IUPAC Fer
CAS 7439-89-6
ChEBI CHEBI:82664
Clé InChI XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N
SOURIRES [Fe]
Formule moléculaire Fe
6

Cible à sputtering en niobium, 50,8 mm (2,0 po) de diamètre x 3,18 mm (0,125 po) d’épaisseur, 99,95% (base métallique excluant le Ta)

CAS: 3-1-7440 Formule moléculaire: Nb Poids moléculaire (g/mol): 92.91 Numéro MDL: MFCD00011126 Clé InChI: GUCVJGMIXFAOAE-UHFFFAOYSA-N Synonyme: columbium,element,niobium-93,powder,foil,rod,vn 1,foil, 0.25mm 0.01in thick,columbio,niobio PubChem CID: 23936 ChEBI: CHEBI:33344 Nom de l’IUPAC: Niobium SOURIRES: [Nb]

Poids moléculaire (g/mol) 92.91
PubChem CID 23936
Synonyme columbium,element,niobium-93,powder,foil,rod,vn 1,foil, 0.25mm 0.01in thick,columbio,niobio
Numéro MDL MFCD00011126
Nom de l’IUPAC Niobium
CAS 3-1-7440
ChEBI CHEBI:33344
Clé InChI GUCVJGMIXFAOAE-UHFFFAOYSA-N
SOURIRES [Nb]
Formule moléculaire Nb
7

Cible à sputtering en molybdène, diamètre de 76,2 mm (3,0 po) x 3,18 mm (0,125 po) d’épaisseur, 99,95% (base métallique)

CAS: 7439-98-7 Formule moléculaire: Mo Poids moléculaire (g/mol): 95.95 Numéro MDL: MFCD00003465 Clé InChI: ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N Synonyme: molybdenum, elemental,6+ ion,mchvl,vi ion,molybdenum, metallic,metco 63,atom,molybdenum, ion 6+,tsm1,amperit 106.2 PubChem CID: 23932 ChEBI: CHEBI:28685 Nom de l’IUPAC: Molybdène SOURIRES: [Mo]

Poids moléculaire (g/mol) 95.95
PubChem CID 23932
Synonyme molybdenum, elemental,6+ ion,mchvl,vi ion,molybdenum, metallic,metco 63,atom,molybdenum, ion 6+,tsm1,amperit 106.2
Numéro MDL MFCD00003465
Nom de l’IUPAC Molybdène
CAS 7439-98-7
ChEBI CHEBI:28685
Clé InChI ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N
SOURIRES [Mo]
Formule moléculaire Mo
8

Cible à sputtering en cuivre, 50,8 mm (2,0 po) de diamètre x 6,35 mm (0,250 po) d’épaisseur, 99,999% (base métallique)

CAS: 7440-50-8 Formule moléculaire: Cu Poids moléculaire (g/mol): 63.55 Numéro MDL: MFCD00010965 Clé InChI: RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Synonyme: cuprum,cobre,cuivre,blister,cathode,bronze,powder,anode,precipitates,kupfer PubChem CID: 23978 ChEBI: CHEBI:30052 Nom de l’IUPAC: Cuivre SOURIRES: [Cu]

Poids moléculaire (g/mol) 63.55
PubChem CID 23978
Synonyme cuprum,cobre,cuivre,blister,cathode,bronze,powder,anode,precipitates,kupfer
Numéro MDL MFCD00010965
Nom de l’IUPAC Cuivre
CAS 7440-50-8
ChEBI CHEBI:30052
Clé InChI RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N
SOURIRES [Cu]
Formule moléculaire Cu
9

Cible à pulvérisation d’oxyde de zinc, 50,8 mm (2,0 po) de diamètre x 3,18 mm (0,125 po) d’épaisseur, 99,9% (base métallique)

CAS: 1314-13-2 Formule moléculaire: OZn Poids moléculaire (g/mol): 81.38 Numéro MDL: MFCD00011300 Clé InChI: XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N Synonyme: zinc oxide,zinc white,amalox,permanent white,Chinese white,snow white,emanay zinc oxide,felling zinc oxide,zinc oxide zno,akro-zinc bar 85 PubChem CID: 14806 ChEBI: CHEBI:36560 Nom de l’IUPAC: oxozinc SOURIRES: O=[Zn]

Poids moléculaire (g/mol) 81.38
PubChem CID 14806
Synonyme zinc oxide,zinc white,amalox,permanent white,Chinese white,snow white,emanay zinc oxide,felling zinc oxide,zinc oxide zno,akro-zinc bar 85
Numéro MDL MFCD00011300
Nom de l’IUPAC oxozinc
CAS 1314-13-2
ChEBI CHEBI:36560
Clé InChI XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N
SOURIRES O=[Zn]
Formule moléculaire OZn
10

Cible à sputtering de molybdène, diamètre 50,8 mm (2,0 po) x 3,18 mm (0,125 po) d’épaisseur, 99,95% (base métallique)

CAS: 7439-98-7 Formule moléculaire: Mo Poids moléculaire (g/mol): 95.95 Numéro MDL: MFCD00003465 Clé InChI: ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N Synonyme: molybdenum, elemental,6+ ion,mchvl,vi ion,molybdenum, metallic,metco 63,atom,molybdenum, ion 6+,tsm1,amperit 106.2 PubChem CID: 23932 ChEBI: CHEBI:28685 Nom de l’IUPAC: Molybdène SOURIRES: [Mo]

Poids moléculaire (g/mol) 95.95
PubChem CID 23932
Synonyme molybdenum, elemental,6+ ion,mchvl,vi ion,molybdenum, metallic,metco 63,atom,molybdenum, ion 6+,tsm1,amperit 106.2
Numéro MDL MFCD00003465
Nom de l’IUPAC Molybdène
CAS 7439-98-7
ChEBI CHEBI:28685
Clé InChI ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N
SOURIRES [Mo]
Formule moléculaire Mo
11

Cible à sputtering en cuivre, diamètre de 76,2 mm (3,0 po) x 3,18 mm (0,125 po) d’épaisseur, 99,999% (base métallique)

CAS: 7440-50-8 Formule moléculaire: Cu Poids moléculaire (g/mol): 63.55 Numéro MDL: MFCD00010965 Clé InChI: RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Synonyme: cuprum,cobre,cuivre,blister,cathode,bronze,powder,anode,precipitates,kupfer PubChem CID: 23978 ChEBI: CHEBI:30052 Nom de l’IUPAC: Cuivre SOURIRES: [Cu]

Poids moléculaire (g/mol) 63.55
PubChem CID 23978
Synonyme cuprum,cobre,cuivre,blister,cathode,bronze,powder,anode,precipitates,kupfer
Numéro MDL MFCD00010965
Nom de l’IUPAC Cuivre
CAS 7440-50-8
ChEBI CHEBI:30052
Clé InChI RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N
SOURIRES [Cu]
Formule moléculaire Cu
12

Cible à sputtering de chrome, 50,8 mm (2,0 po) de diamètre x 3,18 mm (0,125 po) d’épaisseur, 99,95% (base métallique)

CAS: 7440-47-3 Formule moléculaire: Cr Poids moléculaire (g/mol): 52.00 Numéro MDL: MFCD00010944 Clé InChI: VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N Synonyme: chrom,chrome,cromo,metal,chrome french,compounds,chrom german,chromium, elemental,chromium, metal,ccris 159 PubChem CID: 23976 ChEBI: CHEBI:28073 Nom de l’IUPAC: Chrome SOURIRES: [Cr]

Poids moléculaire (g/mol) 52.00
PubChem CID 23976
Synonyme chrom,chrome,cromo,metal,chrome french,compounds,chrom german,chromium, elemental,chromium, metal,ccris 159
Numéro MDL MFCD00010944
Nom de l’IUPAC Chrome
CAS 7440-47-3
ChEBI CHEBI:28073
Clé InChI VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N
SOURIRES [Cr]
Formule moléculaire Cr
13

Cible à sputtering en cuivre, diamètre de 50,8 mm (2,0 po) x 3,18 mm (0,125 po) d’épaisseur, 99,995% (base métallique)

CAS: 7440-50-8 Formule moléculaire: Cu Poids moléculaire (g/mol): 63.55 Numéro MDL: MFCD00010965 Clé InChI: RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Synonyme: cuprum,cobre,cuivre,blister,cathode,bronze,powder,anode,precipitates,kupfer PubChem CID: 23978 ChEBI: CHEBI:30052 Nom de l’IUPAC: Cuivre SOURIRES: [Cu]

Poids moléculaire (g/mol) 63.55
PubChem CID 23978
Synonyme cuprum,cobre,cuivre,blister,cathode,bronze,powder,anode,precipitates,kupfer
Numéro MDL MFCD00010965
Nom de l’IUPAC Cuivre
CAS 7440-50-8
ChEBI CHEBI:30052
Clé InChI RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N
SOURIRES [Cu]
Formule moléculaire Cu
14

Cible à sputtering d’ytterbium, 50,8 mm de diamètre x 1,59 mm d’épaisseur

CAS: 7440-64-4 Formule moléculaire: Yb Poids moléculaire (g/mol): 173.05 Numéro MDL: MFCD00011286 Clé InChI: NAWDYIZEMPQZHO-UHFFFAOYSA-N Synonyme: unii-mnq4o4wsi1,hydride,mnq4o4wsi1,foil, 3n,yterbio,ingot,powder,ii ion,chips, 3n,ingot, 3n PubChem CID: 23992 ChEBI: CHEBI:33381 Nom de l’IUPAC: yterbium SOURIRES: [Yb]

Poids moléculaire (g/mol) 173.05
PubChem CID 23992
Synonyme unii-mnq4o4wsi1,hydride,mnq4o4wsi1,foil, 3n,yterbio,ingot,powder,ii ion,chips, 3n,ingot, 3n
Numéro MDL MFCD00011286
Nom de l’IUPAC yterbium
CAS 7440-64-4
ChEBI CHEBI:33381
Clé InChI NAWDYIZEMPQZHO-UHFFFAOYSA-N
SOURIRES [Yb]
Formule moléculaire Yb
15

Cible à pulvérisation en étain, 50,8 mm (2,0 po) de diamètre x 6,35 mm (0,250 po) d’épaisseur, 99,995% (base métallique)

CAS: 7440-31-5 Formule moléculaire: Sn Poids moléculaire (g/mol): 118.71 Numéro MDL: MFCD00133862 Clé InChI: ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N Synonyme: powder,stannum,metallic,tin, elemental,wang,zinn,flake,tin, metal,silver matt powder,zinn german PubChem CID: 5352426 ChEBI: CHEBI:32990 Nom de l’IUPAC: Tin SOURIRES: [Sn]

Poids moléculaire (g/mol) 118.71
PubChem CID 5352426
Synonyme powder,stannum,metallic,tin, elemental,wang,zinn,flake,tin, metal,silver matt powder,zinn german
Numéro MDL MFCD00133862
Nom de l’IUPAC Tin
CAS 7440-31-5
ChEBI CHEBI:32990
Clé InChI ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N
SOURIRES [Sn]
Formule moléculaire Sn