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Foamtec UltraSOLV™ ScrubPADS™

Numéro de catalogue. 19304798
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Grain:
1350
220
280
800
Comprend:
Sans fente
Matériau:
Carbure de silicone
Diamant
Dimensions (L x P):
1,5 x 2,5 po
3 x 4 po
4 product options available for selection
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Numéro de catalogue. Grain Comprend Matériau Dimensions (L x P)
19304798 800 Sans fente Diamant 1,5 x 2,5 po
19041777 1350 Sans fente Diamant 3 x 4 po
19042110 220 Sans fente Carbure de silicone 3 x 4 po
191202183 280 Sans fente Diamant 3 x 4 po
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4 options
Numéro de catalogue. 19304798 Fournisseur Foamtec Code fournisseur HT4580D83 1

Pour de l'aide SVP utiliser la function de clavardage; nous envoyer un couriel à help@thermofisher.com ou appelez le service à la clientèle au 1-800-234-7437.

Description

Nettoyage ScrubPADS en chambre à vide pour les procédures de PM légères à lourdes

Idéal pour les outils de traitement de plaquettes tels que les chambres de gravure LAM 9600 et 2300, Hitachi les chambres de gravure, TEL les chambres de gravure, Varian les zones de procédé d’implants ioniques, Novellus Speed, AMAT TxZ, WxZ, DxZ, SinGEN, PolyGEN, Endura ainsi que les outils CVD Producer, PVD et Roth Rau SiNX CVD.

  • Un large choix de grains permet d’éliminer rapidement les résidus induits par le procédé sur l’aluminium, l’acier inoxydable, la céramique, le verre, le quartz et les surfaces anodisées tout en minimisant l’usure des outils
  • La construction sans fibres réduit les niveaux de particules dans les outils nettoyés
  • La technologie de collage unique minimise la libération de particules abrasives, ce qui permet des procédures de PM plus propres
  • Permet l’élimination de H2O 2 des PM, ce qui réduit considérablement les temps de récupération

Spécifications

Type de produit Tampon de nettoyage à chambre à vide
Dimensions (L x P) 1,5 x 2,5 po
Dimensions (L x l x H) 1,5 x 2,25 po.
À utiliser avec (application) Élimination rapide des résidus induits par le procédé sur l’aluminium, l’acier inoxydable, la céramique, le verre, le quartz et les surfaces anodisées tout en minimisant l’usure des outils
À utiliser avec (équipement) Outils de traitement des plaquettes
Grain 800
Comprend Sans fente
Longueur (impériale) 2,25 in
Longueur (métrique) 5.72 cm
Matériau Diamant
Épaisseur (impériale) 0,078 po.
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